长寿命的靶材组件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610791397.X

申请日：

2016-08-31

公开(公告)号：

CN107794501A

公开(公告)日：

2018-03-13

发明(设计)人：

姚力军潘杰相原俊夫王学泽李小萍

申请人：

申请人地址：

315400 浙江省宁波市余姚市名邦科技工业园区安山路198号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

高静;吴敏

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-04-06	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20160831
2020-09-04	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/34 申请公布日:20180313
2018-03-13	公开	公开

共 50 条

[1]

一种长寿命靶材组件 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

李宁 .

中国专利 :CN111270213A ,2020-06-12

[2]

一种长寿命溅射靶材 [P].

郑文翔 .

中国专利 :CN201793723U ,2011-04-13

[3]

高效率长寿命的铣扁装置 [P].

汤宏 ;

魏拥军 .

中国专利 :CN111185619A ,2020-05-22

[4]

钽靶材及钽靶材组件的制造方法 [P].

姚力军 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

陈勇军 .

中国专利 :CN103572225A ,2014-02-12

[5]

钽靶材及钽靶材组件的制造方法 [P].

姚力军 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

陈勇军 .

中国专利 :CN103572223A ,2014-02-12

[6]

镍靶材及镍靶材组件的制造方法 [P].

姚力军 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

袁海军 .

中国专利 :CN103572224B ,2014-02-12

[7]

靶材组件的制造方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

王学泽 ;

段高林 .

中国专利 :CN107755837B ,2018-03-06

[8]

靶材组件的加工方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

王学泽 ;

段高林 .

中国专利 :CN106312565B ,2017-01-11

[9]

背板及靶材组件 [P].

姚力军 ;

相原俊夫 ;

大岩一彦 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

郑文翔 .

中国专利 :CN202415679U ,2012-09-05

[10]

锂靶材组件的制造方法 [P].

齐大志 ;

刘慧芳 ;

程滋平 ;

陈强 ;

牟瀚波 ;

杨诚 ;

吴春敢 .

中国专利 :CN111411330B ,2020-07-14

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