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靶材组件的加工方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201510330401.8
申请日
:
2015-06-15
公开(公告)号
:
CN106312565B
公开(公告)日
:
2017-01-11
发明(设计)人
:
姚力军
潘杰
相原俊夫
大岩一彦
王学泽
段高林
申请人
:
申请人地址
:
315400 浙江省宁波市余姚市名邦科技工业园区安山路198号
IPC主分类号
:
B23P2304
IPC分类号
:
代理机构
:
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人
:
高静;吴敏
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2017-02-08
实质审查的生效
实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101702044426 IPC(主分类):B23P 23/04 专利申请号:2015103304018 申请日:20150615
2019-03-05
授权
授权
2017-01-11
公开
公开
共 50 条
[1]
溅射靶材、靶材组件及靶材组件的制作方法
[P].
大岩一彦
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大岩一彦
;
姚科科
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姚科科
;
山田浩
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山田浩
.
中国专利
:CN114351096A
,2022-04-15
[2]
溅射靶材、靶材组件及靶材组件的制作方法
[P].
大岩一彦
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机构:
浙江最成半导体科技有限公司
浙江最成半导体科技有限公司
大岩一彦
;
姚科科
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机构:
浙江最成半导体科技有限公司
浙江最成半导体科技有限公司
姚科科
;
山田浩
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机构:
浙江最成半导体科技有限公司
浙江最成半导体科技有限公司
山田浩
.
中国专利
:CN114351096B
,2025-03-25
[3]
靶材组件及加工方法
[P].
姚力军
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姚力军
;
潘杰
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潘杰
;
王学泽
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王学泽
;
张良进
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张良进
.
中国专利
:CN108611608A
,2018-10-02
[4]
靶材组件的制造方法
[P].
姚力军
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姚力军
;
潘杰
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潘杰
;
相原俊夫
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相原俊夫
;
王学泽
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王学泽
;
曹欢欢
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曹欢欢
.
中国专利
:CN108067723A
,2018-05-25
[5]
靶材组件的制作方法
[P].
姚力军
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姚力军
;
潘杰
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潘杰
;
王学泽
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王学泽
;
罗明浩
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罗明浩
;
占卫君
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占卫君
.
中国专利
:CN111041431A
,2020-04-21
[6]
溅射靶材、靶材组件
[P].
大岩一彦
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大岩一彦
;
姚科科
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姚科科
;
山田浩
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山田浩
.
中国专利
:CN217757629U
,2022-11-08
[7]
靶材组件的焊接方法
[P].
姚力军
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姚力军
;
潘杰
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潘杰
;
相原俊夫
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相原俊夫
;
王学泽
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王学泽
;
朱锦程
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朱锦程
.
中国专利
:CN107552939A
,2018-01-09
[8]
靶材控制变形加工方法
[P].
姚力军
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姚力军
;
潘杰
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潘杰
;
王学泽
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王学泽
;
韩军辉
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韩军辉
.
中国专利
:CN108581058A
,2018-09-28
[9]
一种靶材组件及其加工方法
[P].
姚力军
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姚力军
;
边逸军
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边逸军
;
潘杰
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潘杰
;
王学泽
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王学泽
;
徐蔓
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徐蔓
.
中国专利
:CN112359334A
,2021-02-12
[10]
一种加工钨靶材的方法
[P].
姚力军
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姚力军
;
潘杰
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潘杰
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相原俊夫
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相原俊夫
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大岩一彦
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大岩一彦
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王学泽
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王学泽
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梁泽民
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梁泽民
.
中国专利
:CN106541154A
,2017-03-29
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