抛光液注入装置及抛光系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111413355.X

申请日：

2021-11-25

公开(公告)号：

CN113977458B

公开(公告)日：

2022-01-28

发明(设计)人：

赵欣李劲劲曹文会钟源

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北三环东路18号

IPC主分类号：

B24B5702

IPC分类号：

B24B3734 H01L2167

代理机构：

北京华进京联知识产权代理有限公司 11606

代理人：

金伟英

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-01-28	公开	公开
2022-02-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 57/02 申请日:20211125
2022-12-02	授权	授权

共 50 条

[1]

抛光液供给系统、方法及抛光系统 [P].

李昀泽 ;

具成旻 ;

崔世勋 ;

白宗权 .

中国专利 :CN109571227B ,2019-04-05

[2]

抛光盘及抛光系统 [P].

侯晶 ;

许乔 ;

刘世伟 ;

陈贤华 ;

王健 ;

李洁 ;

钟波 .

中国专利 :CN211220041U ,2020-08-11

[3]

抛光盘及抛光系统 [P].

侯晶 ;

许乔 ;

刘世伟 ;

陈贤华 ;

王健 ;

李洁 ;

钟波 .

中国专利 :CN110788699B ,2024-09-20

[4]

抛光盘及抛光系统 [P].

侯晶 ;

许乔 ;

刘世伟 ;

陈贤华 ;

王健 ;

李洁 ;

钟波 .

中国专利 :CN110788699A ,2020-02-14

[5]

抛光装置及抛光系统 [P].

饶桥兵 ;

聂小威 .

中国专利 :CN206912912U ,2018-01-23

[6]

抛光液输送结构及抛光装置 [P].

万先进 ;

胡孟杰 ;

李俊 ;

尤国振 ;

张怀东 ;

朱松 ;

边逸军 .

中国专利 :CN220575620U ,2024-03-12

[7]

抛光刀具、抛光装置及抛光系统 [P].

段合露 .

中国专利 :CN221111257U ,2024-06-11

[8]

液态金属抛光液回转内表面抛光系统 [P].

张利 ;

袁智敏 ;

夏卫海 ;

傅昱斐 ;

王亚良 .

中国专利 :CN108747795A ,2018-11-06

[9]

磁流变非晶合金抛光装置、抛光液及抛光方法 [P].

宋佳 .

中国专利 :CN105904332A ,2016-08-31

[10]

抛光液供给臂及抛光液供给装置 [P].

李伟 ;

姜家宏 ;

王铮 .

中国专利 :CN108177089A ,2018-06-19

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