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抛光盘及抛光系统
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN201922216053.8
申请日
:
2019-12-11
公开(公告)号
:
CN211220041U
公开(公告)日
:
2020-08-11
发明(设计)人
:
侯晶
许乔
刘世伟
陈贤华
王健
李洁
钟波
申请人
:
申请人地址
:
610000 四川省成都市武侯区科园一路3号
IPC主分类号
:
B24B1300
IPC分类号
:
B24B1301
B24B4916
B24B5702
代理机构
:
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463
代理人
:
付兴奇
法律状态
:
专利权的终止
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-11-19
专利权的终止
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B24B 13/00 申请日:20191211 授权公告日:20200811 终止日期:20201211
2020-08-11
授权
授权
共 50 条
[1]
抛光盘及抛光系统
[P].
侯晶
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机构:
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
侯晶
;
许乔
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机构:
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
许乔
;
刘世伟
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机构:
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
刘世伟
;
陈贤华
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中国工程物理研究院激光聚变研究中心
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
陈贤华
;
王健
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机构:
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
王健
;
李洁
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机构:
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
李洁
;
钟波
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机构:
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
钟波
.
中国专利
:CN110788699B
,2024-09-20
[2]
抛光盘及抛光系统
[P].
侯晶
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侯晶
;
许乔
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许乔
;
刘世伟
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刘世伟
;
陈贤华
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陈贤华
;
王健
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王健
;
李洁
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李洁
;
钟波
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钟波
.
中国专利
:CN110788699A
,2020-02-14
[3]
抛光系统及抛光方法
[P].
梁焰
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梁焰
;
岳兴
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岳兴
;
李安庭
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李安庭
.
中国专利
:CN112872916A
,2021-06-01
[4]
一种可调平式抛光盘及抛光系统
[P].
徐枭宇
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机构:
杭州众硅电子科技有限公司
杭州众硅电子科技有限公司
徐枭宇
;
杨渊思
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机构:
杭州众硅电子科技有限公司
杭州众硅电子科技有限公司
杨渊思
.
中国专利
:CN223146862U
,2025-07-25
[5]
抛光机及抛光系统
[P].
何康德
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何康德
;
姜汉坤
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姜汉坤
;
胡小亮
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胡小亮
;
吕进
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吕进
.
中国专利
:CN107891348A
,2018-04-10
[6]
抛光机及抛光系统
[P].
何康德
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何康德
;
姜汉坤
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姜汉坤
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胡小亮
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胡小亮
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吕进
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吕进
.
中国专利
:CN207593512U
,2018-07-10
[7]
抛光液注入装置及抛光系统
[P].
赵欣
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赵欣
;
李劲劲
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李劲劲
;
曹文会
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曹文会
;
钟源
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钟源
.
中国专利
:CN113977458B
,2022-01-28
[8]
抛光方法及抛光系统
[P].
林岳明
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机构:
上海传芯半导体有限公司
上海传芯半导体有限公司
林岳明
.
中国专利
:CN117891138A
,2024-04-16
[9]
抛光装置及抛光系统
[P].
饶桥兵
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饶桥兵
;
聂小威
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聂小威
.
中国专利
:CN206912912U
,2018-01-23
[10]
抛光方法及抛光系统
[P].
何昆哲
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机构:
上海新昇半导体科技有限公司
上海新昇半导体科技有限公司
何昆哲
.
中国专利
:CN120901836A
,2025-11-07
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