一种干式真空泵及半导体设备

被引：0

申请号：

CN202122963402.X

申请日：

2021-11-29

公开(公告)号：

CN216342804U

公开(公告)日：

2022-04-19

发明(设计)人：

俞杰杨立华

申请人：

申请人地址：

201315 上海市浦东新区良腾路6号

IPC主分类号：

F04C2302

IPC分类号：

F04C2502 F04C2808 F04C2806 F04C2828 H01L21311 H01L2167

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

周耀君

法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-19	授权	授权

共 50 条

[1]

一种真空泵散热装置、真空泵及半导体设备 [P].

朱科 ;

秦玉忠 ;

沈文武 .

中国专利 :CN222963034U ,2025-06-10

[2]

干式真空泵 [P].

胡焕林 .

中国专利 :CN87208519U ,1988-10-05

[3]

真空泵和半导体设备 [P].

孟杰 .

中国专利 :CN118622706A ,2024-09-10

[4]

半导体干式螺杆真空泵定子铸造机构 [P].

孙昌建 ;

张冬至 ;

李细毛 ;

张毅 .

中国专利 :CN221336226U ,2024-07-16

[5]

干式真空泵 [P].

沈文武 ;

周忠贤 .

中国专利 :CN113417852A ,2021-09-21

[6]

干式真空泵 [P].

胡焕林 .

中国专利 :CN87103739A ,1988-12-14

[7]

干式真空泵 [P].

赖庆峰 ;

林敬渊 ;

付娜 .

中国专利 :CN217898183U ,2022-11-25

[8]

干式真空泵 [P].

孙泓菊 ;

刘瑞和 .

中国专利 :CN2489115Y ,2002-05-01

[9]

利用自身余热加热氮气的干式真空泵和光伏半导体设备 [P].

周阳 ;

沈文武 ;

何建修 ;

周贤忠 .

中国专利 :CN216477855U ,2022-05-10

[10]

干式真空泵设备及冷却干式真空泵设备的方法 [P].

伊东一磨 ;

大山敦 ;

臼井克明 .

中国专利 :CN102220980B ,2011-10-19

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