一种真空泵散热装置、真空泵及半导体设备

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202422037324.4
申请日
2024-08-21
公开(公告)号
CN222963034U
公开(公告)日
2025-06-10
发明(设计)人
朱科 秦玉忠 沈文武
申请人
四川莱斯特真空科技有限公司
申请人地址
610000 四川省成都市天府新区新兴街道天工大道916号天科创造产业基地A4-1号
IPC主分类号
F04C29/04
IPC分类号
F04C25/02 F04C28/24
代理机构
北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463
代理人
杨勋
法律状态
授权
国省代码
四川省 成都市
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
真空泵散热装置 [P]. 
李元杰 .
中国专利 :CN204900191U ,2015-12-23
[2]
真空泵和半导体设备 [P]. 
孟杰 .
中国专利 :CN118622706A ,2024-09-10
[3]
大型真空泵散热装置 [P]. 
林传福 .
中国专利 :CN201687690U ,2010-12-29
[4]
一种真空泵散热装置 [P]. 
陆学贵 .
中国专利 :CN116677588B ,2025-12-02
[5]
真空泵清洗装置及真空泵 [P]. 
刘建航 ;
沙佩亮 ;
张家鑫 ;
宋福来 .
中国专利 :CN222185136U ,2024-12-17
[6]
真空泵转子及真空泵 [P]. 
蔡旭 ;
沈文武 ;
谢兴 ;
王远 ;
侯亚旅 ;
周贤忠 ;
周游龙 ;
游诗琪 .
中国专利 :CN217270816U ,2022-08-23
[7]
一种干式真空泵及半导体设备 [P]. 
俞杰 ;
杨立华 .
中国专利 :CN216342804U ,2022-04-19
[8]
真空泵、用于真空泵的转接装置以及真空泵设备 [P]. 
岳腾 ;
刘业胜 ;
廖凯 ;
张斌 ;
吴清 .
中国专利 :CN221824099U ,2024-10-11
[9]
一种真空泵组件及真空泵 [P]. 
刘建伟 ;
雷晓宏 ;
魏民 .
中国专利 :CN213176033U ,2021-05-11
[10]
真空泵冷却辅助装置及真空泵 [P]. 
蔡旭 ;
周贤忠 ;
谢兴 ;
王远 ;
侯亚旅 ;
游诗琪 ;
周游龙 ;
沈文武 .
中国专利 :CN217270686U ,2022-08-23