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一种真空泵散热装置、真空泵及半导体设备
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202422037324.4
申请日
:
2024-08-21
公开(公告)号
:
CN222963034U
公开(公告)日
:
2025-06-10
发明(设计)人
:
朱科
秦玉忠
沈文武
申请人
:
四川莱斯特真空科技有限公司
申请人地址
:
610000 四川省成都市天府新区新兴街道天工大道916号天科创造产业基地A4-1号
IPC主分类号
:
F04C29/04
IPC分类号
:
F04C25/02
F04C28/24
代理机构
:
北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463
代理人
:
杨勋
法律状态
:
授权
国省代码
:
四川省 成都市
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2025-06-10
授权
授权
共 50 条
[1]
真空泵散热装置
[P].
李元杰
论文数:
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李元杰
.
中国专利
:CN204900191U
,2015-12-23
[2]
真空泵和半导体设备
[P].
孟杰
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机构:
上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
孟杰
.
中国专利
:CN118622706A
,2024-09-10
[3]
大型真空泵散热装置
[P].
林传福
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林传福
.
中国专利
:CN201687690U
,2010-12-29
[4]
一种真空泵散热装置
[P].
陆学贵
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机构:
浙江博亚精密机械有限公司
浙江博亚精密机械有限公司
陆学贵
.
中国专利
:CN116677588B
,2025-12-02
[5]
真空泵清洗装置及真空泵
[P].
刘建航
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亿昇(天津)科技有限公司
亿昇(天津)科技有限公司
刘建航
;
沙佩亮
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机构:
亿昇(天津)科技有限公司
亿昇(天津)科技有限公司
沙佩亮
;
张家鑫
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机构:
亿昇(天津)科技有限公司
亿昇(天津)科技有限公司
张家鑫
;
宋福来
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机构:
亿昇(天津)科技有限公司
亿昇(天津)科技有限公司
宋福来
.
中国专利
:CN222185136U
,2024-12-17
[6]
真空泵转子及真空泵
[P].
蔡旭
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蔡旭
;
沈文武
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沈文武
;
谢兴
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谢兴
;
王远
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王远
;
侯亚旅
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侯亚旅
;
周贤忠
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周贤忠
;
周游龙
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周游龙
;
游诗琪
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游诗琪
.
中国专利
:CN217270816U
,2022-08-23
[7]
一种干式真空泵及半导体设备
[P].
俞杰
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俞杰
;
杨立华
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杨立华
.
中国专利
:CN216342804U
,2022-04-19
[8]
真空泵、用于真空泵的转接装置以及真空泵设备
[P].
岳腾
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苏州麦克斯韦真空科技有限公司
苏州麦克斯韦真空科技有限公司
岳腾
;
刘业胜
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苏州麦克斯韦真空科技有限公司
苏州麦克斯韦真空科技有限公司
刘业胜
;
廖凯
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苏州麦克斯韦真空科技有限公司
苏州麦克斯韦真空科技有限公司
廖凯
;
张斌
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苏州麦克斯韦真空科技有限公司
苏州麦克斯韦真空科技有限公司
张斌
;
吴清
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机构:
苏州麦克斯韦真空科技有限公司
苏州麦克斯韦真空科技有限公司
吴清
.
中国专利
:CN221824099U
,2024-10-11
[9]
一种真空泵组件及真空泵
[P].
刘建伟
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刘建伟
;
雷晓宏
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雷晓宏
;
魏民
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魏民
.
中国专利
:CN213176033U
,2021-05-11
[10]
真空泵冷却辅助装置及真空泵
[P].
蔡旭
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蔡旭
;
周贤忠
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周贤忠
;
谢兴
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谢兴
;
王远
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王远
;
侯亚旅
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侯亚旅
;
游诗琪
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游诗琪
;
周游龙
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周游龙
;
沈文武
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沈文武
.
中国专利
:CN217270686U
,2022-08-23
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