一种离子源的电源系统及离子源

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710532798.8

申请日：

2016-08-31

公开(公告)号：

CN107275176A

公开(公告)日：

2017-10-20

发明(设计)人：

刁克明

申请人：

申请人地址：

100071 北京市丰台区小屯路150号

IPC主分类号：

H01J37248

IPC分类号：

H01J3708

代理机构：

北京格允知识产权代理有限公司 11609

代理人：

周娇娇;谭辉

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-09-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/248 申请日:20160831
2021-08-17	授权	授权
2017-10-20	公开	公开

共 50 条

[1]

一种离子源的电源系统及离子源 [P].

刁克明 .

中国专利 :CN106206230A ,2016-12-07

[2]

一种离子源的电源系统及离子源 [P].

刁克明 .

中国专利 :CN206059341U ,2017-03-29

[3]

离子源的电源系统及离子源装置 [P].

曾文华 ;

刘伟基 ;

冀鸣 ;

刘运鸿 .

中国专利 :CN111740566A ,2020-10-02

[4]

离子源的电源系统及离子源装置 [P].

曾文华 ;

刘伟基 ;

冀鸣 ;

刘运鸿 .

中国专利 :CN212323979U ,2021-01-08

[5]

离子源、操作离子源的方法、以及离子源系统 [P].

木山俊昭 .

中国专利 :CN1461036A ,2003-12-10

[6]

离子源的电源控制方法、系统及离子源装置 [P].

冀鸣 ;

刘运鸿 ;

刘伟基 ;

范奕生 ;

赵刚 ;

易洪波 .

中国专利 :CN111933503B ,2020-11-13

[7]

一种离子源装置及离子源系统 [P].

闫奎呈 ;

刘小波 ;

杨振 ;

陈龙保 ;

刘海洋 ;

郭颂 ;

胡冬冬 ;

石小丽 ;

许开东 .

中国专利 :CN118448236A ,2024-08-06

[8]

射频离子源系统及射频离子源控制方法 [P].

吴秋生 ;

刘伟基 ;

冀鸣 ;

赵刚 ;

易洪波 .

中国专利 :CN114302549B ,2024-02-20

[9]

射频离子源系统及射频离子源控制方法 [P].

吴秋生 ;

刘伟基 ;

冀鸣 ;

赵刚 ;

易洪波 .

中国专利 :CN114302549A ,2022-04-08

[10]

韦恩·G·塞恩蒂 .

中国专利 :CN1486502A ,2004-03-31

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