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离子源、操作离子源的方法、以及离子源系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN03136854.9
申请日：
2003-05-23
公开(公告)号：
CN1461036A
公开(公告)日：
2003-12-10
发明(设计)人：
木山俊昭
申请人：
申请人地址：
日本京都府
IPC主分类号：
H01J2702
IPC分类号：
H01J3708
代理机构：
北京市柳沈律师事务所
代理人：
葛青;李晓舒
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2003-12-10 | 公开 | 公开 |
| 2004-02-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2006-05-24 | 授权 | 授权 |
| 2006-06-21 | 专利申请权、专利权的转移专利权的转移 | 专利申请权、专利权的转移专利权的转移 变更事项:专利权人 变更前权利人:日新电机株式会社 变更后权利人:日新意旺机械股份公司 变更事项:地址 变更前权利人:日本京都府 变更后权利人:日本京都府 登记生效日:20060519 |
| 2015-07-08 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101616549171 IPC(主分类):H01J 27/02 专利号:ZL031368549 申请日:20030523 授权公告日:20060524 终止日期:20140523 |