用于perc电池加工用pecvd氮化硅覆膜机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202121677064.7

申请日：

2021-07-22

公开(公告)号：

CN215517627U

公开(公告)日：

2022-01-14

发明(设计)人：

何飞蔡鹏李亚楠

申请人：

申请人地址：

223900 江苏省宿迁市泗洪县经济开发区杭州路北侧人民路东侧

IPC主分类号：

C23C1650

IPC分类号：

C23C1634 C23C1654 C23C16458 H01L3118

代理机构：

南京新慧恒诚知识产权代理有限公司 32424

代理人：

蒋玮

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-01-14	授权	授权

共 50 条

[1]

氮化硅粉加工用加压磨具 [P].

刘海青 ;

刘浩 ;

慕瑞民 ;

曹雪敏 .

中国专利 :CN216635555U ,2022-05-31

[2]

氮化硅薄膜的沉积方法、氮化硅薄膜及PERC电池 [P].

许烁烁 ;

舒勇东 ;

刘良玉 .

中国专利 :CN109735829A ,2019-05-10

[3]

氮化硅铁加工用原料输送装置 [P].

胡文耀 ;

姬坤重 ;

胡幸福 ;

高彦成 .

中国专利 :CN215725047U ,2022-02-01

[4]

氮化硅粉末加工用除杂装置 [P].

刘海青 ;

刘浩 ;

慕瑞民 ;

曹雪敏 .

中国专利 :CN216500017U ,2022-05-13

[5]

氮化硅铁磨粉加工用碾压辊 [P].

刘海青 ;

刘浩 ;

慕瑞民 ;

曹雪敏 .

中国专利 :CN214076940U ,2021-08-31

[6]

perc电池背面氮化硅多层膜的制备装置 [P].

何飞 ;

蔡鹏 ;

李亚楠 .

中国专利 :CN216274365U ,2022-04-12

[7]

氮化硅加工用过筛机 [P].

户鹏飞 ;

牛富余 ;

王明月 ;

孙鑫 .

中国专利 :CN223475540U ,2025-10-28

[8]

平板氮化硅薄膜PECVD沉积系统 [P].

奚建平 ;

周子彬 .

中国专利 :CN201195747Y ,2009-02-18

[9]

用于氮化硅粉末加工的储存装置 [P].

刘浩 ;

刘海青 ;

慕瑞民 ;

曹雪敏 .

中国专利 :CN216547810U ,2022-05-17

[10]

一种电池背面氮化硅膜层和PERC电池 [P].

朱浩 ;

万柳斌 ;

吴朋朋 ;

张基勇 ;

蒋柱 ;

方雯 .

中国专利 :CN211507647U ,2020-09-15

← 1 2 3 4 5 →