硅片的干燥装置及硅片生产系统

被引：0

申请号：

CN202220177449.5

申请日：

2022-01-21

公开(公告)号：

CN216977356U

公开(公告)日：

2022-07-15

发明(设计)人：

杜俊霖周旭唐坤何雷雨范松港

申请人：

申请人地址：

610200 四川省成都市双流县西南航空港经济开发区内

IPC主分类号：

F26B906

IPC分类号：

F26B504 F26B2300 F26B2500 F26B2510

代理机构：

华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

别亮亮

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-15	授权	授权

共 50 条

[1]

硅片烘干槽及硅片生产系统 [P].

杨健 ;

党继东 .

中国专利 :CN207134339U ,2018-03-23

[2]

硅片翻转装置及硅片生产系统 [P].

王崇宇 .

中国专利 :CN222785272U ,2025-04-22

[3]

一种硅片干燥装置及硅片干燥箱 [P].

胡建平 ;

吴光 ;

纪兴兴 ;

王红磊 .

中国专利 :CN214620465U ,2021-11-05

[4]

硅片生产系统 [P].

何帅 ;

付少剑 ;

郁寅珑 ;

范洵 ;

宋志君 .

中国专利 :CN218160418U ,2022-12-27

[5]

硅片干燥系统 [P].

杨步明 ;

史红涛 ;

胡建平 .

中国专利 :CN222747635U ,2025-04-11

[6]

硅片花篮及硅片生产系统 [P].

王会 ;

谭建辉 ;

戴向荣 .

中国专利 :CN216818291U ,2022-06-24

[7]

硅片清洗干燥装置和硅片处理设备 [P].

刘晓鹏 .

中国专利 :CN212517137U ,2021-02-09

[8]

硅片清洗机的供水装置以及硅片生产系统 [P].

吴流彬 .

中国专利 :CN207204744U ,2018-04-10

[9]

一种硅片翻转装置和硅片生产系统 [P].

董平博 ;

邱其伟 ;

王彦齐 .

中国专利 :CN213212130U ,2021-05-14

[10]

硅片生产系统 [P].

丁海军 ;

邢旭 ;

兰勇刚 .

中国专利 :CN115008621B ,2024-12-03

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