硅片干燥系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421532228.0

申请日：

2024-07-01

公开(公告)号：

CN222747635U

公开(公告)日：

2025-04-11

发明(设计)人：

杨步明史红涛胡建平

申请人：

上海新昇半导体科技有限公司上海新昇晶睿半导体科技有限公司

申请人地址：

201306 上海市浦东新区泥城镇云水路1000号

IPC主分类号：

F26B9/06

IPC分类号：

F26B21/04 F26B25/00

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

汪春艳

法律状态：

授权

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-11	授权	授权

共 50 条

[1]

硅片的干燥装置及硅片生产系统 [P].

杜俊霖 ;

周旭 ;

唐坤 ;

何雷雨 ;

范松港 .

中国专利 :CN216977356U ,2022-07-15

[2]

硅片干燥设备 [P].

冯传彰 ;

许本谐 ;

谢宏亮 ;

刘茂林 ;

郑加元 ;

林生海 .

中国专利 :CN201262946Y ,2009-06-24

[3]

氯气干燥系统 [P].

徐伟 ;

周剑 .

中国专利 :CN202011744U ,2011-10-19

[4]

热泵干燥系统 [P].

王天皓 ;

陈雪松 ;

陈玉成 ;

闫华 ;

丁宁 .

中国专利 :CN213208405U ,2021-05-14

[5]

一种硅片干燥装置及硅片干燥箱 [P].

胡建平 ;

吴光 ;

纪兴兴 ;

王红磊 .

中国专利 :CN214620465U ,2021-11-05

[6]

硅片提拉支架以及干燥装置 [P].

邵业明 .

中国专利 :CN220852878U ,2024-04-26

[7]

一种用于硅片的干燥系统 [P].

徐永帅 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN116007299B ,2024-08-30

[8]

硅片清洗干燥装置和硅片处理设备 [P].

刘晓鹏 .

中国专利 :CN212517137U ,2021-02-09

[9]

一种半导体硅片干燥装置 [P].

赵细海 ;

韩忠良 ;

张先雷 .

中国专利 :CN216308404U ,2022-04-15

[10]

新型空气干燥系统 [P].

陈磊 .

中国专利 :CN201551950U ,2010-08-18

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