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一种靶材的清洗方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201911090091.1
申请日
:
2019-11-08
公开(公告)号
:
CN110670083A
公开(公告)日
:
2020-01-10
发明(设计)人
:
姚力军
潘杰
边逸军
王学泽
杨恕鉴
申请人
:
申请人地址
:
315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路
IPC主分类号
:
C23G500
IPC分类号
:
C23C1434
代理机构
:
北京远智汇知识产权代理有限公司 11659
代理人
:
王岩
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2020-01-10
公开
公开
2020-02-11
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):C23G 5/00 申请日:20191108
共 50 条
[1]
一种陶瓷靶材的清洗方法
[P].
姚力军
论文数:
0
引用数:
0
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0
姚力军
;
边逸军
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0
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边逸军
;
潘杰
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0
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0
潘杰
;
王学泽
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0
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0
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0
王学泽
;
杨慧珍
论文数:
0
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0
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杨慧珍
.
中国专利
:CN113458036A
,2021-10-01
[2]
一种铜靶材的清洗方法
[P].
姚力军
论文数:
0
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0
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机构:
合肥江丰电子材料有限公司
合肥江丰电子材料有限公司
姚力军
;
窦兴贤
论文数:
0
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0
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机构:
合肥江丰电子材料有限公司
合肥江丰电子材料有限公司
窦兴贤
;
王青松
论文数:
0
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0
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0
机构:
合肥江丰电子材料有限公司
合肥江丰电子材料有限公司
王青松
;
胡全
论文数:
0
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机构:
合肥江丰电子材料有限公司
合肥江丰电子材料有限公司
胡全
.
中国专利
:CN118417237A
,2024-08-02
[3]
一种靶材加工用清洗装置及其清洗方法
[P].
谭明强
论文数:
0
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0
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0
谭明强
.
中国专利
:CN114749409A
,2022-07-15
[4]
一种LCD靶材表面的清洗方法
[P].
姚力军
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姚力军
;
窦兴贤
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窦兴贤
;
王学泽
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王学泽
;
王青松
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王青松
;
胡全
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0
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0
胡全
.
中国专利
:CN113458048A
,2021-10-01
[5]
一种靶材组件中间层的清洗方法
[P].
姚力军
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姚力军
;
边逸军
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边逸军
;
潘杰
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潘杰
;
王学泽
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0
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王学泽
;
侯宇
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0
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0
侯宇
.
中国专利
:CN113500045A
,2021-10-15
[6]
一种旋转靶材的清洗包装方法
[P].
姚力军
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姚力军
;
潘杰
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潘杰
;
王学泽
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王学泽
;
赵丽
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赵丽
;
张光辉
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张光辉
.
中国专利
:CN113291553A
,2021-08-24
[7]
一种钽靶材生产过程中半成品钽螺纹的清洗方法
[P].
姚力军
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姚力军
;
潘杰
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潘杰
;
王学泽
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0
王学泽
;
侯宇
论文数:
0
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0
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0
侯宇
.
中国专利
:CN108816929A
,2018-11-16
[8]
一种陶瓷清洗液及陶瓷靶材的清洗方法
[P].
姚力军
论文数:
0
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0
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
姚力军
;
王勇
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
王勇
;
杨慧珍
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
杨慧珍
;
周友平
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
周友平
;
廖培君
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
廖培君
.
中国专利
:CN119913009A
,2025-05-02
[9]
一种旋转靶材涂布方法
[P].
林昊
论文数:
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0
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机构:
先导薄膜材料(广东)有限公司
先导薄膜材料(广东)有限公司
林昊
;
刘毅华
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机构:
先导薄膜材料(广东)有限公司
先导薄膜材料(广东)有限公司
刘毅华
;
余芳
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机构:
先导薄膜材料(广东)有限公司
先导薄膜材料(广东)有限公司
余芳
;
刘佰玲
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机构:
先导薄膜材料(广东)有限公司
先导薄膜材料(广东)有限公司
刘佰玲
;
裴炜炀
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机构:
先导薄膜材料(广东)有限公司
先导薄膜材料(广东)有限公司
裴炜炀
.
中国专利
:CN118080287A
,2024-05-28
[10]
一种钴靶材的扩散焊接方法
[P].
姚力军
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
姚力军
;
汤婷
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
汤婷
;
廖培君
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
廖培君
;
杨慧珍
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
杨慧珍
;
傅湘雨
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
傅湘雨
.
中国专利
:CN119319306A
,2025-01-17
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