一种陶瓷靶材的清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110813219.3

申请日：

2021-07-19

公开(公告)号：

CN113458036A

公开(公告)日：

2021-10-01

发明(设计)人：

姚力军边逸军潘杰王学泽杨慧珍

申请人：

申请人地址：

315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路

IPC主分类号：

B08B100

IPC分类号：

B08B312 B08B308 F26B2100 C23C1434

代理机构：

北京远智汇知识产权代理有限公司 11659

代理人：

王岩

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B08B 1/00 申请日:20210719
2021-10-01	公开	公开

共 50 条

[1]

一种陶瓷清洗液及陶瓷靶材的清洗方法 [P].

姚力军 ;

王勇 ;

杨慧珍 ;

周友平 ;

廖培君 .

中国专利 :CN119913009A ,2025-05-02

[2]

一种靶材的清洗方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

杨恕鉴 .

中国专利 :CN110670083A ,2020-01-10

[3]

一种氧化铈陶瓷靶材的制备方法 [P].

边逸军 ;

姚力军 ;

汪焱斌 ;

慕二龙 ;

陈石 .

中国专利 :CN121135413A ,2025-12-16

[4]

一种陶瓷靶材的制备方法 [P].

彭彪林 ;

徐梦星 ;

李路成 .

中国专利 :CN107188555A ,2017-09-22

[5]

一种陶瓷靶材的制备方法 [P].

彭彪林 ;

李路成 ;

徐梦星 .

中国专利 :CN107188554A ,2017-09-22

[6]

ITO靶材或其他陶瓷靶材的绑定方法 [P].

余芳 ;

朱刘 ;

童培云 .

中国专利 :CN109136868A ,2019-01-04

[7]

一种BMN陶瓷靶材的制备方法 [P].

高虹 .

中国专利 :CN104944951A ,2015-09-30

[8]

一种旋转陶瓷靶材的制备方法 [P].

庄维新 ;

庄志杰 .

中国专利 :CN101705467A ,2010-05-12

[9]

一种靶材组件中间层的清洗方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

侯宇 .

中国专利 :CN113500045A ,2021-10-15

[10]

一种陶瓷靶材模具 [P].

付秋平 ;

刘渊 ;

严伟 ;

罗军 ;

聂盛强 .

中国专利 :CN209903507U ,2020-01-07

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