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半导体废气处理系统
被引：0
申请号：
CN202211035789.5
申请日：
2022-08-26
公开(公告)号：
CN115487625A
公开(公告)日：
2022-12-20
发明(设计)人：
宁腾飞
李轩
申请人：
申请人地址：
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座
IPC主分类号：
B01D4706
IPC分类号：
B01D4708
B01D5318
B01J1924
代理机构：
北京路浩知识产权代理有限公司 11002
代理人：
李文丽
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-12-20 | 公开 | 公开 |