一种自动转移蓝宝石基片的装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201610687954.3
申请日
2016-08-18
公开(公告)号
CN106128985A
公开(公告)日
2016-11-16
发明(设计)人
吕承鹏 刘亚坤 吕康理 于玉斋 张黎明 王明明 吕飞 涂亮亮 魏明德
申请人
申请人地址
221000 江苏省徐州市经济开发区杨山路98号
IPC主分类号
H01L21673
IPC分类号
H01L21677
代理机构
徐州市三联专利事务所 32220
代理人
周爱芳
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
自动转移蓝宝石基片的装置 [P]. 
吕承鹏 ;
刘亚坤 ;
吕康理 ;
于玉斋 ;
张黎明 ;
王明明 ;
吕飞 ;
涂亮亮 ;
魏明德 .
中国专利 :CN205984920U ,2017-02-22
[2]
一种蓝宝石基片点焊治具 [P]. 
商炜 .
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[3]
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[7]
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[9]
一种晶圆及蓝宝石基片切边检测装置 [P]. 
刘志强 ;
夏伟 ;
陈再红 ;
李正贤 ;
丁天祥 .
中国专利 :CN208189547U ,2018-12-04
[10]
一种晶圆及蓝宝石基片切边检测装置 [P]. 
刘志强 ;
夏伟 ;
陈再红 ;
李正贤 ;
丁天祥 .
中国专利 :CN108520861B ,2024-11-26