激光辐射方法及激光辐射装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510072607.1

申请日：

2005-05-16

公开(公告)号：

CN100483180C

公开(公告)日：

2005-11-16

发明(设计)人：

田中幸一郎大石洋正

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

G02B2700

IPC分类号：

H01L21027 G02B300

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

张雪梅;张志醒

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-04-29	授权	授权
2005-11-16	公开	公开
2019-05-03	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G02B 27/00 申请日:20050516 授权公告日:20090429 终止日期:20180516
2007-07-04	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

激光辐射装置、激光辐射方法及制造半导体器件的方法 [P].

田中幸一郎 ;

森若智昭 ;

山本良明 .

中国专利 :CN1612287A ,2005-05-04

[2]

激光辐射设备 [P].

郑炳铉 ;

车裕敏 ;

郑元雄 ;

鲁莲九 .

中国专利 :CN101033111B ,2007-09-12

[3]

激光辐射方法及其装置 [P].

奥村展 .

中国专利 :CN100481332C ,2006-09-06

[4]

激光辐射仪 [P].

大工園则雄 .

中国专利 :CN1050992A ,1991-05-01

[5]

激光辐射仪 [P].

大工圆则雄 .

中国专利 :CN1049612A ,1991-03-06

[6]

激光辐射测试系统 [P].

姜克 ;

江皇君 ;

颜伟民 ;

林亚来 .

中国专利 :CN203364964U ,2013-12-25

[7]

用于激光辐射的转变设备 [P].

M·伊万嫩科 ;

维亚切斯拉夫·格里姆 ;

海宁·卡利斯 .

中国专利 :CN112513706A ,2021-03-16

[8]

激光辐射线检查装置 [P].

鲍航 ;

曾祥坤 ;

黄庆 ;

魏玉婷 ;

韩方亮 .

中国专利 :CN113983961B ,2024-07-16

[9]

激光辐射强度分析装置 [P].

顾泽苍 ;

刘桥初 ;

沈德利 ;

于世芬 ;

张清理 .

中国专利 :CN85201948U ,1986-03-12

[10]

激光辐射线检查装置 [P].

鲍航 ;

曾祥坤 ;

黄庆 ;

魏玉婷 ;

韩方亮 .

中国专利 :CN113983961A ,2022-01-28

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