半导体材料制备设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310646928.2

申请日：

2013-12-04

公开(公告)号：

CN104697331B

公开(公告)日：

2015-06-10

发明(设计)人：

陈海燕王春林鲁林峰汪昌州陈小源

申请人：

申请人地址：

201210 上海市浦东新区海科路99号

IPC主分类号：

F27B1404

IPC分类号：

F27B1414 F27D706 F27D1106 H01L3534

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

王江富

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-23	授权	授权
2017-01-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101695217756 IPC(主分类):F27B 14/04 专利申请号:2013106469282 申请日:20131204
2015-06-10	公开	公开

共 50 条

[1]

一种半导体材料制备设备 [P].

李明霞 .

中国专利 :CN109765088A ,2019-05-17

[2]

一种半导体材料制备设备 [P].

李桂云 ;

胡志强 .

中国专利 :CN117587494A ,2024-02-23

[3]

一种半导体材料制备设备 [P].

杨癸 ;

马东伟 ;

张静 .

中国专利 :CN208315517U ,2019-01-01

[4]

一种多工位半导体材料制备设备 [P].

聂新明 ;

赵波 .

中国专利 :CN117542752A ,2024-02-09

[5]

一种用于半导体材料的制备设备 [P].

雷灵华 ;

朱苏鹏 ;

张帅 .

中国专利 :CN221492967U ,2024-08-09

[6]

一种用于半导体材料的制备设备 [P].

黄玮婷 .

中国专利 :CN114054261B ,2022-02-18

[7]

粉尘过滤器以及半导体材料制备设备 [P].

阎大伟 ;

罗跃川 ;

杨奇 ;

吴卫东 ;

王雪敏 ;

彭丽萍 ;

黎维华 ;

沈昌乐 ;

赵妍 ;

湛治强 ;

蒋涛 ;

王新明 ;

邓青华 .

中国专利 :CN206793238U ,2017-12-26

[8]

半导体材料制备装置 [P].

张育民 ;

徐科 ;

王建峰 .

中国专利 :CN210575857U ,2020-05-19

[9]

半导体材料加工设备及半导体材料加工方法 [P].

宋婉贞 ;

黄卫国 ;

武震 ;

张永昌 ;

郑佳晶 ;

陈国兴 ;

田世伟 ;

谭立杰 .

中国专利 :CN111584403A ,2020-08-25

[10]

半导体材料检测设备 [P].

徐彦文 ;

李天航 ;

陈海巍 .

中国专利 :CN309195375S ,2025-03-25

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