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一种半导体材料制备设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201821014778.8
申请日：
2018-06-28
公开(公告)号：
CN208315517U
公开(公告)日：
2019-01-01
发明(设计)人：
杨癸
马东伟
张静
申请人：
申请人地址：
455000 河南省安阳市开发区弦歌大道436号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
西安铭泽知识产权代理事务所(普通合伙) 61223
代理人：
俞晓明
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-06-23 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20180628 授权公告日:20190101 终止日期:20190628 |
| 2019-01-01 | 授权 | 授权 |