基板搬运装置、基板搬运方法以及基板处理系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610173298.1

申请日：

2006-12-15

公开(公告)号：

CN101096245A

公开(公告)日：

2008-01-02

发明(设计)人：

堀口贵弘

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

B65G4906

IPC分类号：

B65G4907 B65G3700 G02F11333 H01L21677

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：

何腾云

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-02-27	实质审查的生效	实质审查的生效
2011-11-16	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101207916066 IPC(主分类):B65G 49/06 专利申请号:2006101732981 公开日:20080102
2008-01-02	公开	公开

共 50 条

[1]

基板搬运系统、基板搬运方法、基板处理系统以及基板处理方法 [P].

小林康信 .

中国专利 :CN112018008A ,2020-12-01

[2]

基板搬运装置、基板处理系统及基板搬运方法 [P].

田上真也 ;

岩崎达也 ;

大塚庆崇 ;

相良典秀 ;

熊谷典俊 ;

林伸也 .

中国专利 :CN1405839A ,2003-03-26

[3]

基板搬运装置、基板搬运方法以及基板处理装置 [P].

辻雅夫 ;

池田文彦 .

中国专利 :CN108305847B ,2018-07-20

[4]

基板搬运装置、基板处理装置以及基板搬运方法 [P].

桑原丈二 .

中国专利 :CN108428655B ,2018-08-21

[5]

基板处理系统及其基板搬运装置 [P].

李嘉伦 ;

黄训志 ;

张为捷 .

中国专利 :CN101633441B ,2010-01-27

[6]

基板搬运装置以及基板搬运方法 [P].

深津英司 ;

小河丰 .

日本专利 :CN111788668B ,2024-07-19

[7]

基板搬运装置以及基板搬运方法 [P].

南孝 ;

木村吉希 ;

实政泰树 .

日本专利 :CN118136563A ,2024-06-04

[8]

基板搬运装置以及基板搬运方法 [P].

辻泽孝文 .

中国专利 :CN113979114A ,2022-01-28

[9]

基板搬运装置以及基板搬运方法 [P].

深津英司 ;

小河丰 .

中国专利 :CN111788668A ,2020-10-16

[10]

基板搬运装置以及利用该基板搬运装置的基板搬运方法 [P].

金兑炫 ;

金东赫 ;

金祥铉 .

中国专利 :CN104108606A ,2014-10-22

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