基板搬运装置以及基板搬运方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980015141.1

申请日：

2019-01-11

公开(公告)号：

CN111788668A

公开(公告)日：

2020-10-16

发明(设计)人：

深津英司小河丰

申请人：

申请人地址：

日本京都府

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

闫剑平

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-10-16	公开	公开
2020-11-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20190111

共 50 条

[1]

基板搬运装置以及基板搬运方法 [P].

深津英司 ;

小河丰 .

日本专利 :CN111788668B ,2024-07-19

[2]

基板搬运装置以及基板搬运方法 [P].

南孝 ;

木村吉希 ;

实政泰树 .

日本专利 :CN118136563A ,2024-06-04

[3]

基板搬运装置以及基板搬运方法 [P].

辻泽孝文 .

中国专利 :CN113979114A ,2022-01-28

[4]

基板搬运装置、基板搬运方法以及基板处理装置 [P].

辻雅夫 ;

池田文彦 .

中国专利 :CN108305847B ,2018-07-20

[5]

基板搬运装置、基板处理装置以及基板搬运方法 [P].

桑原丈二 .

中国专利 :CN108428655B ,2018-08-21

[6]

基板搬运装置、基板搬运方法以及接合装置 [P].

下川义和 .

日本专利 :CN117597770A ,2024-02-23

[7]

基板搬运装置以及利用该基板搬运装置的基板搬运方法 [P].

金兑炫 ;

金东赫 ;

金祥铉 .

中国专利 :CN104108606A ,2014-10-22

[8]

基板搬运装置、基板搬运方法以及曝光装置 [P].

田中庆一 .

中国专利 :CN101006572A ,2007-07-25

[9]

基板搬运装置、基板搬运方法以及基板处理系统 [P].

堀口贵弘 .

中国专利 :CN101096245A ,2008-01-02

[10]

基板搬运方法及基板搬运装置 [P].

河合慎也 ;

池田晋作 .

中国专利 :CN103608909A ,2014-02-26

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