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晶片配准及重叠测量系统以及有关方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910837865.6
申请日：
2019-09-05
公开(公告)号：
CN110879510B
公开(公告)日：
2020-03-13
发明(设计)人：
N·A·米林 R·登比 R·T·豪斯利 张晓松 J·D·哈姆斯 S·J·克拉梅尔
申请人：
申请人地址：
美国爱达荷州
IPC主分类号：
G03F900
IPC分类号：
代理机构：
北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287
代理人：
王龙
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2020-04-07 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 9/00 申请日:20190905
2021-08-24 授权 授权
2020-03-13 公开 公开
共 50 条
[1]
晶片配准及重叠测量系统以及有关方法 [P]. 
N·A·米林 ;
R·登比 ;
R·T·豪斯利 ;
张晓松 ;
J·D·哈姆斯 ;
S·J·克拉梅尔 .
中国专利 :CN113589663A ,2021-11-02
[2]
晶片配准及重叠测量系统以及有关方法 [P]. 
N·A·米林 ;
R·登比 ;
R·T·豪斯利 ;
张晓松 ;
J·D·哈姆斯 ;
S·J·克拉梅尔 .
美国专利 :CN113589663B ,2024-06-28
[3]
重叠测量系统以及重叠测量装置 [P]. 
椙江政贵 ;
酒井计 .
中国专利 :CN114303039A ,2022-04-08
[4]
重叠测量系统以及重叠测量装置 [P]. 
椙江政贵 ;
酒井计 .
日本专利 :CN114303039B ,2024-01-09
[5]
重叠区域相似性引导的点云配准方法 [P]. 
罗明 ;
裴昊男 ;
张璞玉 ;
周志超 ;
何智伟 ;
何春晖 ;
冯柏清 .
中国专利 :CN119180848A ,2024-12-24
[6]
重叠区域相似性引导的点云配准方法 [P]. 
罗明 ;
裴昊男 ;
张璞玉 ;
周志超 ;
何智伟 ;
何春晖 ;
冯柏清 .
中国专利 :CN119180848B ,2025-11-28
[7]
基于相位控制模型的重叠测量系统及方法 [P]. 
H·J·郑翁 .
中国专利 :CN104346808A ,2015-02-11
[8]
一种精密光学坐标系统测量用点云配准方法及系统 [P]. 
李兵 ;
李磊 ;
薛张峰 ;
魏翔 .
中国专利 :CN117611641A ,2024-02-27
[9]
一种移动测量系统激光点云精确配准方法 [P]. 
韩昀 ;
田其 ;
丁亚洲 ;
魏鑫 ;
吏军平 ;
戴明松 ;
柴林冲 ;
谭学春 ;
张奔 ;
向荣荣 ;
李彩林 ;
王志勇 ;
郭宝云 .
中国专利 :CN120747180B ,2025-11-14
[10]
一种移动测量系统激光点云精确配准方法 [P]. 
韩昀 ;
田其 ;
丁亚洲 ;
魏鑫 ;
吏军平 ;
戴明松 ;
柴林冲 ;
谭学春 ;
张奔 ;
向荣荣 ;
李彩林 ;
王志勇 ;
郭宝云 .
中国专利 :CN120747180A ,2025-10-03
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