重叠测量系统以及重叠测量装置

被引：0

申请号：

CN201980099625.9

申请日：

2019-08-23

公开(公告)号：

CN114303039A

公开(公告)日：

2022-04-08

发明(设计)人：

椙江政贵酒井计

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G01B1500

IPC分类号：

G01N23203 G01N232206 G01N232251 H01J3722 H01L2166

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

许静;范胜杰

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-08	公开	公开

共 50 条

[1]

重叠测量系统以及重叠测量装置 [P].

椙江政贵 ;

酒井计 .

日本专利 :CN114303039B ,2024-01-09

[2]

重叠量测量装置和重叠量测量方法 [P].

塚本高弘 .

中国专利 :CN106662429A ,2017-05-10

[3]

单垫式重叠测量 [P].

胡翔 ;

M·范德斯卡 ;

O·V·兹维尔 ;

帕特里克·华纳 ;

H·W·M·范布尔 .

:CN119156571A ,2024-12-17

[4]

用于重叠的测量模式 [P].

A·玛纳森 ;

A·V·希尔 ;

G·拉雷多 .

美国专利 :CN115552228B ,2024-10-18

[5]

用于重叠的测量模式 [P].

A·玛纳森 ;

A·V·希尔 ;

G·拉雷多 .

中国专利 :CN115552228A ,2022-12-30

[6]

晶片配准及重叠测量系统以及有关方法 [P].

N·A·米林 ;

R·登比 ;

R·T·豪斯利 ;

张晓松 ;

J·D·哈姆斯 ;

S·J·克拉梅尔 .

中国专利 :CN110879510B ,2020-03-13

[7]

晶片配准及重叠测量系统以及有关方法 [P].

N·A·米林 ;

R·登比 ;

R·T·豪斯利 ;

张晓松 ;

J·D·哈姆斯 ;

S·J·克拉梅尔 .

中国专利 :CN113589663A ,2021-11-02

[8]

多层重叠计量标靶和互补式重叠计量测量系统 [P].

D·坎戴尔 ;

V·列文斯基 ;

G·科恩 .

中国专利 :CN103038861B ,2013-04-10

[9]

多层重叠计量标靶和互补式重叠计量测量系统 [P].

D·坎戴尔 ;

V·列文斯基 ;

G·科恩 .

中国专利 :CN105759570B ,2016-07-13

[10]

晶片配准及重叠测量系统以及有关方法 [P].

N·A·米林 ;

R·登比 ;

R·T·豪斯利 ;

张晓松 ;

J·D·哈姆斯 ;

S·J·克拉梅尔 .

美国专利 :CN113589663B ,2024-06-28

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