一种化学机械抛光液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910200825.7

申请日：

2009-12-25

公开(公告)号：

CN102108261A

公开(公告)日：

2011-06-29

发明(设计)人：

荆建芬蔡鑫元

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5号楼613-618室

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

H01L21306 H01L21762

代理机构：

上海翰鸿律师事务所 31246

代理人：

李佳铭

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-06-29	公开	公开
2012-10-03	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101333914944 IPC(主分类):C09G 1/02 专利申请号:2009102008257 申请日:20091225
2015-04-08	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101713337923 IPC(主分类):H01L 21/306 专利申请号:2009102008257 申请公布日:20110629

共 50 条

[1]

一种化学机械抛光液 [P].

荆建芬 .

中国专利 :CN102101979A ,2011-06-22

[2]

一种化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

张建 ;

蔡鑫元 .

中国专利 :CN102533120A ,2012-07-04

[3]

一种化学机械抛光液 [P].

荆建芬 .

中国专利 :CN102101978A ,2011-06-22

[4]

一种化学机械抛光液 [P].

周辉 ;

周烈 ;

罗爱清 .

中国专利 :CN118516045B ,2024-11-29

[5]

一种化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

张建 .

中国专利 :CN102533116B ,2012-07-04

[6]

一种化学机械抛光液 [P].

潘依君 ;

荆建芬 ;

张建 ;

姚颖 ;

宋凯 ;

蔡鑫元 ;

杨俊雅 ;

卞鹏程 ;

李恒 .

中国专利 :CN109971358A ,2019-07-05

[7]

一种化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

杨春晓 .

中国专利 :CN101457126A ,2009-06-17

[8]

一种化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

蔡鑫元 ;

杨春晓 .

中国专利 :CN101747842B ,2010-06-23

[9]

一种化学机械抛光液 [P].

张建 ;

荆建芬 ;

杨俊雅 ;

马健 ;

宋凯 ;

蔡鑫元 ;

潘依君 ;

卞鹏程 .

中国专利 :CN109971357A ,2019-07-05

[10]

一种化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

杨春晓 ;

姚红 .

中国专利 :CN101457127B ,2009-06-17

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