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丝网曝光机的误差测量系统及方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011183052.9
申请日：
2020-10-29
公开(公告)号：
CN112344882A
公开(公告)日：
2021-02-09
发明(设计)人：
赵涛
陈国军
吴景舟
马迪
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市吴中区木渎镇金山南路868号锐晶大厦2号楼2层
IPC主分类号：
G01B1126
IPC分类号：
G03F720
代理机构：
北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250
代理人：
安志娇
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-03-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/26 申请日:20201029 |
| 2021-02-09 | 公开 | 公开 |