双频激光外差干涉相位测量大尺寸光学平面的装置及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910009286.2

申请日：

2019-01-04

公开(公告)号：

CN109855743A

公开(公告)日：

2019-06-07

发明(设计)人：

陈强华孔祥悦孙启国吕洪波何广平司丽娜豆照良祖岩朱炜李艳红柴娟芳杨延竹

申请人：

申请人地址：

100144 北京市石景山区晋元庄路5号

IPC主分类号：

G01J902

IPC分类号：

代理机构：

北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265

代理人：

王静思

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-06-07	公开	公开
2020-10-09	授权	授权
2019-07-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01J 9/02 申请日:20190104

共 50 条

[1]

双频激光光栅干涉测量方法及测量系统 [P].

颜树华 ;

王国超 ;

杨俊 ;

周卫红 ;

杨东兴 .

中国专利 :CN102353327A ,2012-02-15

[2]

一种高精度双频同时测量激光外差干涉相位测振光路 [P].

陈强华 ;

刘景海 ;

何永熹 ;

罗会甫 ;

蒋弘 ;

吴健 ;

王锋 .

中国专利 :CN103499385B ,2014-01-08

[3]

一种四光束结构激光外差干涉滚转角测量装置及方法 [P].

王昭 ;

齐静雅 ;

黄军辉 ;

高建民 ;

李鹏飞 .

中国专利 :CN110849293A ,2020-02-28

[4]

一种共光路激光外差干涉法滚转角高精度测量装置及方法 [P].

王昭 ;

齐静雅 ;

黄军辉 ;

高建民 ;

齐红泽 .

中国专利 :CN108168465A ,2018-06-15

[5]

一种基于平面镜反射的激光外差干涉测量装置和方法 [P].

白洋 ;

李正坤 ;

鲁云峰 ;

张钟华 ;

贺青 .

中国专利 :CN108592800B ,2018-09-28

[6]

角度补偿式激光外差干涉位移测量装置及方法 [P].

张恩政 ;

陈本永 .

中国专利 :CN107255451A ,2017-10-17

[7]

反射式相位正交单频激光干涉测量装置及测量方法 [P].

乐燕芬 ;

金施嘉珞 ;

金涛 .

中国专利 :CN110487173B ,2019-11-22

[8]

基于小频差与光束分离的激光外差干涉测量方法与装置 [P].

谭久彬 ;

刁晓飞 ;

胡鹏程 ;

杨千惠 ;

白洋 .

中国专利 :CN102853770A ,2013-01-02

[9]

基于电光调制的双频激光外差干涉位移测量系统及方法 [P].

李小平 ;

张树威 ;

李琮玉 ;

崔航 ;

王晨旭 ;

孙海峰 ;

邓忠文 .

中国专利 :CN121112912A ,2025-12-12

[10]

外差光纤干涉仪位移测量系统及方法 [P].

孙国华 ;

程朝奎 ;

郭升莉 .

中国专利 :CN112484648B ,2021-03-12

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