一种大面积均匀沉积热障涂层的电子束物理气相沉积方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911180329.X

申请日：

2019-11-27

公开(公告)号：

CN110863179A

公开(公告)日：

2020-03-06

发明(设计)人：

姜春竹崔向中高巍周国栋马江宁

申请人：

申请人地址：

100024 北京市朝阳区八里桥北东军庄1号

IPC主分类号：

C23C1430

IPC分类号：

C23C1408

代理机构：

代理人：

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-02	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/30 申请公布日:20200306
2020-03-06	公开	公开
2020-03-31	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/30 申请日:20191127

共 50 条

[1]

一种大功率电子束物理气相沉积设备的原位辐射加热系统 [P].

刘雪垠 ;

闵自强 ;

杨戴蔚 ;

张衡镜 ;

曾梦玮 ;

肖夏 ;

毛凯 .

中国专利 :CN121046789A ,2025-12-02

[2]

一种电子束物理气相沉积热障涂层厚度预测计算方法 [P].

李雅峰 ;

张京 ;

安维诗·杜夫勒 ;

张健 ;

杨威 ;

纪铮钊 ;

于程 ;

崔悦 ;

刘津伊 .

中国专利 :CN112541253B ,2021-03-23

[3]

超厚电子束物理气相沉积热障涂层的制备方法 [P].

何箐 ;

王世兴 ;

李建超 ;

葛超 ;

李延军 .

中国专利 :CN114717519A ,2022-07-08

[4]

一种电子束物理气相沉积热障涂层的厚度监测方法 [P].

吴宗 ;

杜广 ;

谭海洋 ;

曾斌 .

中国专利 :CN119935046A ,2025-05-06

[5]

一种电子束物理气相沉积热障涂层的厚度监测方法 [P].

吴宗 ;

杜广 ;

谭海洋 ;

曾斌 .

中国专利 :CN119935046B ,2025-11-18

[6]

一种电子束物理气相沉积装置及工件涂层制备方法 [P].

许海鹰 ;

桑兴华 ;

崔向中 ;

姜春竹 ;

邢一思 ;

左从进 ;

周国栋 ;

王永锋 .

中国专利 :CN105483623A ,2016-04-13

[7]

一种制备热障涂层的电子束物理气相沉积装置及制备热障涂层的方法 [P].

杨丽 ;

严刚 ;

闫维亮 ;

申彦生 ;

周益春 .

中国专利 :CN119980150A ,2025-05-13

[8]

一种用于电子束物理气相沉积制备热障涂层的夹持装置 [P].

彭徽 ;

滕晓丹 ;

王博 ;

郭洪波 ;

宫声凯 .

中国专利 :CN110760809B ,2020-02-07

[9]

用电子束物理气相沉积多孔树枝晶陶瓷层的热障涂层方法 [P].

宫声凯 ;

魏秋利 ;

徐惠彬 .

中国专利 :CN100393909C ,2006-10-11

[10]

一种电子束物理气相沉积法制备的ZrO2热障涂层 [P].

徐小峰 ;

郑月宗 ;

鲁海军 ;

李雪冰 ;

夏宏生 .

中国专利 :CN103225062B ,2013-07-31

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