一种大功率电子束物理气相沉积设备的原位辐射加热系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511577709.2

申请日：

2025-10-31

公开(公告)号：

CN121046789A

公开(公告)日：

2025-12-02

发明(设计)人：

刘雪垠闵自强杨戴蔚张衡镜曾梦玮肖夏毛凯

申请人：

四川省机械研究设计院（集团）有限公司

申请人地址：

610041 四川省成都市武侯区人民南路三段30号

IPC主分类号：

C23C14/30

IPC分类号：

C23C14/54

代理机构：

成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214

代理人：

陈庆

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

四川省成都市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-19	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/30申请日:20251031
2025-12-02	公开	公开

共 50 条

[1]

一种大面积均匀沉积热障涂层的电子束物理气相沉积方法 [P].

姜春竹 ;

崔向中 ;

高巍 ;

周国栋 ;

马江宁 .

中国专利 :CN110863179A ,2020-03-06

[2]

一种发动机叶片用大功率电子束物理气相沉积设备 [P].

刘雪垠 ;

张衡镜 ;

闵自强 ;

杨戴蔚 ;

肖夏 ;

曾梦玮 ;

陈健 .

中国专利 :CN121046787A ,2025-12-02

[3]

一种发动机叶片用大功率电子束物理气相沉积控制系统及方法 [P].

刘雪垠 ;

杨戴蔚 ;

张衡镜 ;

闵自强 ;

肖夏 ;

曾梦玮 ;

陈健 .

中国专利 :CN121046788A ,2025-12-02

[4]

一种发动机叶片用大功率电子束物理气相沉积室系统 [P].

刘雪垠 ;

肖夏 ;

郭恒 ;

张衡镜 ;

杨戴蔚 ;

陈健 ;

曾梦玮 ;

闵自强 .

中国专利 :CN121046790A ,2025-12-02

[5]

一种发动机叶片用大功率电子束物理气相沉积的进料系统 [P].

刘雪垠 ;

曾梦玮 ;

马子凤 ;

张衡镜 ;

闵自强 ;

杨戴蔚 ;

毛凯 .

中国专利 :CN121046803A ,2025-12-02

[6]

一种电子束物理气相沉积装置及工件涂层制备方法 [P].

许海鹰 ;

桑兴华 ;

崔向中 ;

姜春竹 ;

邢一思 ;

左从进 ;

周国栋 ;

王永锋 .

中国专利 :CN105483623A ,2016-04-13

[7]

电磁加速联合等离子体辅助增强电子束物理气相沉积系统 [P].

张东博 .

中国专利 :CN102383096B ,2012-03-21

[8]

电磁加速联合等离子体辅助增强电子束物理气相沉积系统 [P].

张东博 .

中国专利 :CN202297757U ,2012-07-04

[9]

一种电子束物理气相沉积测温方法 [P].

盛刚 ;

火克莉 ;

向昕 .

中国专利 :CN108168722A ,2018-06-15

[10]

一种电子束物理气相沉积热障涂层厚度预测计算方法 [P].

李雅峰 ;

张京 ;

安维诗·杜夫勒 ;

张健 ;

杨威 ;

纪铮钊 ;

于程 ;

崔悦 ;

刘津伊 .

中国专利 :CN112541253B ,2021-03-23

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