一种真空镀膜旋转装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201820205350.5

申请日：

2018-02-06

公开(公告)号：

CN208008888U

公开(公告)日：

2018-10-26

发明(设计)人：

黄正勇周文忠黄国辉黄建朝吴迪

申请人：

申请人地址：

523000 广东省东莞市长安镇沙头社区东大路一街8号3楼

IPC主分类号：

C23C1450

IPC分类号：

C23C1420

代理机构：

上海精晟知识产权代理有限公司 31253

代理人：

冯子玲

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-10-26	授权	授权
2021-01-15	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/50 申请日:20180206 授权公告日:20181026 终止日期:20200206

共 50 条

[1]

一种真空镀膜旋转装置 [P].

谈琦 .

中国专利 :CN223705718U ,2025-12-23

[2]

一种真空镀膜旋转装置 [P].

王晖 .

中国专利 :CN210711723U ,2020-06-09

[3]

真空镀膜旋转装置 [P].

毛昌海 .

中国专利 :CN204874714U ,2015-12-16

[4]

一种真空镀膜旋转装置 [P].

杨林生 .

中国专利 :CN211972434U ,2020-11-20

[5]

一种真空镀膜旋转装置 [P].

丁庆峰 .

中国专利 :CN205934015U ,2017-02-08

[6]

一种真空镀膜旋转装置 [P].

宁德 ;

颜河 ;

栗永利 ;

张哲 ;

林铨振 ;

黄姿琦 ;

郭军坡 ;

王军 ;

吴唯 ;

李伟民 ;

杨春雷 ;

徐晗飞 ;

田涵湫 .

中国专利 :CN221166727U ,2024-06-18

[7]

一种旋转装置及真空镀膜设备 [P].

陈韶华 ;

程元 ;

杨启忠 ;

余海春 ;

唐政 .

中国专利 :CN217839118U ,2022-11-18

[8]

真空镀膜基板旋转装置 [P].

蒋贵霞 ;

贾建国 .

中国专利 :CN211522311U ,2020-09-18

[9]

一种真空镀膜装置及真空镀膜方法 [P].

黄永长 ;

龙汝磊 ;

吴萍 .

中国专利 :CN116254507B ,2025-08-05

[10]

真空镀膜夹具及真空镀膜设备 [P].

朱双林 ;

马国忠 .

中国专利 :CN119162552A ,2024-12-20

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