一种真空镀膜旋转装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201620770466.4

申请日：

2016-07-21

公开(公告)号：

CN205934015U

公开(公告)日：

2017-02-08

发明(设计)人：

丁庆峰

申请人：

申请人地址：

浙江省金华市义乌市赤岸镇特色工业小区

IPC主分类号：

C23C1450

IPC分类号：

C23C1412

代理机构：

北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350

代理人：

肖平安

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-02-08	授权	授权
2018-08-07	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/50 申请日:20160721 授权公告日:20170208 终止日期:20170721

共 50 条

[1]

一种真空镀膜旋转装置 [P].

宁德 ;

颜河 ;

栗永利 ;

张哲 ;

林铨振 ;

黄姿琦 ;

郭军坡 ;

王军 ;

吴唯 ;

李伟民 ;

杨春雷 ;

徐晗飞 ;

田涵湫 .

中国专利 :CN221166727U ,2024-06-18

[2]

一种真空镀膜旋转装置 [P].

谈琦 .

中国专利 :CN223705718U ,2025-12-23

[3]

旋转真空镀膜室 [P].

许峰 .

中国专利 :CN206127402U ,2017-04-26

[4]

真空镀膜旋转装置 [P].

毛昌海 .

中国专利 :CN204874714U ,2015-12-16

[5]

一种真空镀膜旋转装置 [P].

杨林生 .

中国专利 :CN211972434U ,2020-11-20

[6]

一种真空镀膜旋转装置 [P].

王晖 .

中国专利 :CN210711723U ,2020-06-09

[7]

双向旋转真空镀膜室 [P].

许峰 .

中国专利 :CN206127406U ,2017-04-26

[8]

真空镀膜基板旋转装置 [P].

蒋贵霞 ;

贾建国 .

中国专利 :CN211522311U ,2020-09-18

[9]

吊装旋转真空镀膜室 [P].

许峰 .

中国专利 :CN206127398U ,2017-04-26

[10]

真空镀膜装置 [P].

胡静敏 ;

詹秀玲 ;

霍健林 ;

杨富国 .

中国专利 :CN209178468U ,2019-07-30

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