离子束照射装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201380008973.3

申请日：

2013-02-13

公开(公告)号：

CN104221122A

公开(公告)日：

2014-12-17

发明(设计)人：

山本良明金永杜带施兴司德冈山智彦

申请人：

申请人地址：

日本国京都府京都市南区久世殿城町575番地

IPC主分类号：

H01J37317

IPC分类号：

B65G4906 H01L21265 H01L21677 H01L21683

代理机构：

上海和跃知识产权代理事务所(普通合伙) 31239

代理人：

芮玉珠

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-10-12	授权	授权
2014-12-17	公开	公开

共 50 条

[1]

离子束照射装置及离子束照射方法 [P].

小野田正敏 ;

后藤亮介 ;

永尾友一 ;

宇井利昌 .

日本专利 :CN117790320A ,2024-03-29

[2]

离子束照射装置和离子束照射方法 [P].

安东靖典 .

中国专利 :CN100552866C ,2007-03-21

[3]

离子束照射方法和离子束照射装置 [P].

宇根英康 ;

田中浩平 ;

滨本成显 ;

藤田秀树 .

中国专利 :CN102655073A ,2012-09-05

[4]

离子束照射装置 [P].

松本武 ;

松田恭博 ;

安东靖典 ;

仲村信之 ;

谷井正博 .

中国专利 :CN100587895C ,2008-01-02

[5]

离子束照射装置 [P].

高桥直也 ;

藤田秀树 ;

吉村洋祐 ;

酒井滋树 .

中国专利 :CN107104030A ,2017-08-29

[6]

离子束照射装置 [P].

山元彻朗 .

中国专利 :CN110556281A ,2019-12-10

[7]

离子束照射装置 [P].

藤本龙吾 ;

国立圭一 .

日本专利 :CN110890264B ,2024-06-18

[8]

离子束照射装置 [P].

山元彻朗 .

日本专利 :CN110556281B ,2024-01-23

[9]

离子束照射装置 [P].

土肥正二郎 ;

小野田正敏 ;

高桥元喜 .

中国专利 :CN109427526B ,2019-03-05

[10]

离子束照射装置 [P].

藤本龙吾 ;

国立圭一 .

中国专利 :CN110890264A ,2020-03-17

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