一种钛铝钛复合膜层的酸性蚀刻液及制备方法

被引：0

申请号：

CN202211160441.9

申请日：

2022-09-22

公开(公告)号：

CN115491677A

公开(公告)日：

2022-12-20

发明(设计)人：

白晓鹏李泰亨申阳王丹宇苗发虎

申请人：

申请人地址：

430000 湖北省武汉市东湖开发区流芳园横路8号武汉天马微电子有限公司厂房内

IPC主分类号：

C23F126

IPC分类号：

C23F120

代理机构：

武汉红观专利代理事务所(普通合伙) 42247

代理人：

赵志汝

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-20	公开	公开
2023-01-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/26 申请日:20220922

共 50 条

[1]

一种钛铝钛复合膜层的碱性蚀刻液及制备方法 [P].

白晓鹏 ;

李泰亨 ;

申阳 ;

赵方方 ;

苗发虎 .

中国专利 :CN115449796A ,2022-12-09

[2]

一种氮氧钛铝/氮化钛铝/钛铝复合膜的制备方法 [P].

张钧 ;

蔡佳婧 ;

田红花 ;

张正贵 ;

丁龙先 ;

张业民 ;

刘世民 .

中国专利 :CN103866243B ,2014-06-18

[3]

一种高世代平板铜钛膜酸性蚀刻液 [P].

殷福华 ;

邵勇 ;

陈林 ;

栾成 ;

朱龙 ;

顾玲燕 ;

赵文虎 ;

李英 .

中国专利 :CN106086891A ,2016-11-09

[4]

一种半导体用酸性钛钨蚀刻液 [P].

陈浩 ;

李华平 ;

王润杰 .

中国专利 :CN113802120A ,2021-12-17

[5]

一种复合膜层用BOE蚀刻液 [P].

戈烨铭 ;

何珂 ;

汤晓春 .

中国专利 :CN113429974A ,2021-09-24

[6]

一种蚀刻铜箔的酸性蚀刻液及其制备方法 [P].

张建军 ;

何国雄 ;

陈清华 ;

邹艳红 ;

曹尚书 ;

周京萍 .

中国专利 :CN118880332B ,2025-06-03

[7]

一种蚀刻铜箔的酸性蚀刻液及其制备方法 [P].

张建军 ;

何国雄 ;

陈清华 ;

邹艳红 ;

曹尚书 ;

周京萍 .

中国专利 :CN118880332A ,2024-11-01

[8]

钛-铝-钛金属层叠膜用蚀刻液组合物 [P].

殷福华 ;

邵勇 ;

朱龙 .

中国专利 :CN103668209B ,2014-03-26

[9]

钛层或含钛层的蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

佐佐木辽 ;

高桥秀树 ;

横山大雅 .

中国专利 :CN110462799A ,2019-11-15

[10]

一种栅极钛铝钛层叠金属膜用蚀刻液 [P].

徐杨 ;

邵勇 ;

陈林 ;

朱龙 ;

何家苗 ;

赵丹 ;

顾玲燕 .

中国专利 :CN110344062A ,2019-10-18

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