一种复合膜层用BOE蚀刻液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110709036.7

申请日：

2021-06-25

公开(公告)号：

CN113429974A

公开(公告)日：

2021-09-24

发明(设计)人：

戈烨铭何珂汤晓春

申请人：

申请人地址：

214423 江苏省无锡市江阴市周庄镇欧洲工业园区

IPC主分类号：

C09K1306

IPC分类号：

C09K1308

代理机构：

江阴市扬子专利代理事务所(普通合伙) 32309

代理人：

苏玲

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C09K 13/06 申请日:20210625
2021-09-24	公开	公开
2022-11-18	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C09K 13/06 申请公布日:20210924

共 50 条

[1]

一种BOE蚀刻液 [P].

董俊卿 ;

徐倩 ;

卢景煜 .

中国专利 :CN111892931A ,2020-11-06

[2]

一种复合膜用蚀刻液及其在铜层和镍层复合膜刻蚀中的应用 [P].

丁燕 ;

焦玉莹 ;

金丹 .

中国专利 :CN119530806B ,2025-10-17

[3]

一种复合膜用蚀刻液及其在铜层和镍层复合膜刻蚀中的应用 [P].

丁燕 ;

焦玉莹 ;

金丹 .

中国专利 :CN119530806A ,2025-02-28

[4]

一种BOE蚀刻液 [P].

鄢艳华 ;

夏明鹏 ;

姜希松 ;

周达文 .

中国专利 :CN118048156A ,2024-05-17

[5]

一种BOE蚀刻液 [P].

夏明鹏 ;

鄢艳华 ;

姜希松 .

中国专利 :CN119614202A ,2025-03-14

[6]

一种BOE蚀刻液的制备方法 [P].

王海 ;

田志扬 ;

张晓东 ;

潘绍忠 ;

张学良 ;

韩虹羽 ;

魏俊明 .

中国专利 :CN103756680A ,2014-04-30

[7]

一种BOE蚀刻液组合物 [P].

王海 ;

田志扬 ;

潘绍忠 ;

张晓东 ;

张学良 ;

傅明星 ;

王瑞 .

中国专利 :CN103756681A ,2014-04-30

[8]

一种BOE蚀刻液及其应用 [P].

鄢艳华 ;

庾明茂 ;

夏明鹏 ;

姜希松 ;

周达文 .

中国专利 :CN118165733A ,2024-06-11

[9]

一种用于氧化硅层的BOE蚀刻液 [P].

庾明茂 ;

鄢艳华 ;

周达文 ;

姜希松 ;

夏明鹏 .

中国专利 :CN117660012A ,2024-03-08

[10]

一种钛铝钛复合膜层的酸性蚀刻液及制备方法 [P].

白晓鹏 ;

李泰亨 ;

申阳 ;

王丹宇 ;

苗发虎 .

中国专利 :CN115491677A ,2022-12-20

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