一种BOE蚀刻液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411656564.0

申请日：

2024-11-19

公开(公告)号：

CN119614202A

公开(公告)日：

2025-03-14

发明(设计)人：

夏明鹏鄢艳华姜希松

申请人：

深圳新宙邦科技股份有限公司

申请人地址：

518000 广东省深圳市坪山区坪山街道六联社区昌业路9号新宙邦科技大厦1901（一照多址企业）

IPC主分类号：

C09K13/08

IPC分类号：

H01L21/311

代理机构：

深圳众鼎专利商标代理事务所(普通合伙) 44325

代理人：

姚章国

法律状态：

公开

国省代码：

广东省深圳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-14	公开	公开
2025-04-01	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C09K 13/08申请日:20241119

共 50 条

[1]

一种BOE蚀刻液 [P].

鄢艳华 ;

夏明鹏 ;

姜希松 ;

周达文 .

中国专利 :CN118048156A ,2024-05-17

[2]

一种BOE蚀刻液及其应用 [P].

鄢艳华 ;

庾明茂 ;

夏明鹏 ;

姜希松 ;

周达文 .

中国专利 :CN118165733A ,2024-06-11

[3]

一种BOE蚀刻液 [P].

董俊卿 ;

徐倩 ;

卢景煜 .

中国专利 :CN111892931A ,2020-11-06

[4]

一种用于氧化硅层的BOE蚀刻液 [P].

庾明茂 ;

鄢艳华 ;

周达文 ;

姜希松 ;

夏明鹏 .

中国专利 :CN117660012A ,2024-03-08

[5]

一种BOE蚀刻液组合物 [P].

王海 ;

田志扬 ;

潘绍忠 ;

张晓东 ;

张学良 ;

傅明星 ;

王瑞 .

中国专利 :CN103756681A ,2014-04-30

[6]

一种BOE蚀刻液的制备方法 [P].

王海 ;

田志扬 ;

张晓东 ;

潘绍忠 ;

张学良 ;

韩虹羽 ;

魏俊明 .

中国专利 :CN103756680A ,2014-04-30

[7]

一种选择性BOE蚀刻液 [P].

杨华春 ;

栗广奉 ;

闫春生 ;

杨水艳 ;

韩广欣 ;

王泽国 ;

尚钟声 ;

叶文豪 ;

吴海峰 ;

李霞 .

中国专利 :CN117511549A ,2024-02-06

[8]

一种高氧化硅/氮化硅选择比的BOE蚀刻液 [P].

李少平 ;

杨翠翠 ;

张庭 ;

贺兆波 ;

叶瑞 ;

李金航 ;

武昊冉 ;

欧阳克银 ;

许真 ;

董攀飞 ;

蒲帅 .

中国专利 :CN119307262A ,2025-01-14

[9]

一种含氟蚀刻液 [P].

班昌胜 ;

贺兆波 ;

张庭 ;

冯凯 ;

叶瑞 ;

李飞 ;

李素云 ;

苏张轩 ;

严凡 ;

樊凘 ;

罗佳杨 .

中国专利 :CN119570491A ,2025-03-07

[10]

一种半导体BOE蚀刻液、其制备方法和应用 [P].

侯军 ;

武文东 ;

赵晓莹 ;

杨茂森 ;

任洁 ;

田继升 ;

罗鹏旭 .

中国专利 :CN119432384A ,2025-02-14

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