一种选择性BOE蚀刻液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311348306.1

申请日：

2023-10-18

公开(公告)号：

CN117511549A

公开(公告)日：

2024-02-06

发明(设计)人：

杨华春栗广奉闫春生杨水艳韩广欣王泽国尚钟声叶文豪吴海峰李霞

申请人：

多氟多新材料股份有限公司

申请人地址：

454191 河南省焦作市中站区焦克路

IPC主分类号：

C09K13/08

IPC分类号：

H01L21/311

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

山东省济南市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-02-06	公开	公开
2024-02-27	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C09K 13/08申请日:20231018

共 50 条

[1]

一种选择性蚀刻液 [P].

叶瑞 ;

贺兆波 ;

冯凯 ;

崔会东 ;

王书萍 ;

班昌胜 ;

张庭 ;

严凡 ;

樊澌 .

中国专利 :CN117384642A ,2024-01-12

[2]

一种对氮氧化硅高选择性的BOE蚀刻液及其应用 [P].

李少平 ;

董攀飞 ;

张庭 ;

贺兆波 .

中国专利 :CN120865924A ,2025-10-31

[3]

一种选择性硅蚀刻液 [P].

李少平 ;

郝晓斌 ;

尹印 ;

贺兆波 ;

张庭 ;

万杨阳 ;

冯凯 ;

王书萍 ;

张演哲 ;

蔡步林 .

中国专利 :CN111019659A ,2020-04-17

[4]

一种高选择性锗蚀刻液 [P].

彭浩 ;

尹印 ;

叶瑞 ;

倪高国 ;

余迪 ;

万杨阳 ;

贺兆波 ;

张庭 ;

王亮 .

中国专利 :CN115505390A ,2022-12-23

[5]

一种BOE蚀刻液 [P].

鄢艳华 ;

夏明鹏 ;

姜希松 ;

周达文 .

中国专利 :CN118048156A ,2024-05-17

[6]

铜选择性蚀刻液和钛选择性蚀刻液 [P].

江月华 .

中国专利 :CN105603425A ,2016-05-25

[7]

一种选择性镍蚀刻液 [P].

杨俊伟 ;

贺兆波 ;

尹印 ;

叶瑞 ;

万杨阳 ;

杨陈宗 ;

余建平 ;

余迪 ;

马瑞 ;

臧洋 ;

路明 ;

罗海燕 .

中国专利 :CN119592955A ,2025-03-11

[8]

一种BOE蚀刻液及其应用 [P].

鄢艳华 ;

庾明茂 ;

夏明鹏 ;

姜希松 ;

周达文 .

中国专利 :CN118165733A ,2024-06-11

[9]

一种选择性蚀刻氮化钛及钨的蚀刻液 [P].

刘悦 ;

贺兆波 ;

钟昌东 ;

张庭 ;

冯凯 ;

尹印 ;

万杨阳 ;

王书萍 ;

李鑫 ;

李金航 .

中国专利 :CN114369462A ,2022-04-19

[10]

金属选择性蚀刻液 [P].

高桥秀树 ;

黑岩健次 ;

加藤胜 .

中国专利 :CN1847457B ,2006-10-18

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