一种选择性硅蚀刻液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911242534.4

申请日：

2019-12-06

公开(公告)号：

CN111019659A

公开(公告)日：

2020-04-17

发明(设计)人：

李少平郝晓斌尹印贺兆波张庭万杨阳冯凯王书萍张演哲蔡步林

申请人：

申请人地址：

443007 湖北省宜昌市猇亭区猇亭大道66-3号

IPC主分类号：

C09K1310

IPC分类号：

代理机构：

宜昌市三峡专利事务所 42103

代理人：

成钢

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C09K 13/10 申请日:20191206
2021-06-08	授权	授权
2020-04-17	公开	公开

共 50 条

[1]

一种高选择性锗蚀刻液 [P].

彭浩 ;

尹印 ;

叶瑞 ;

倪高国 ;

余迪 ;

万杨阳 ;

贺兆波 ;

张庭 ;

王亮 .

中国专利 :CN115505390A ,2022-12-23

[2]

一种选择性BOE蚀刻液 [P].

杨华春 ;

栗广奉 ;

闫春生 ;

杨水艳 ;

韩广欣 ;

王泽国 ;

尚钟声 ;

叶文豪 ;

吴海峰 ;

李霞 .

中国专利 :CN117511549A ,2024-02-06

[3]

THOX与TEOS选择性蚀刻液及应用 [P].

李少平 ;

董攀飞 ;

张庭 ;

贺兆波 ;

池汝安 ;

叶瑞 ;

李金航 ;

武昊冉 ;

许真 ;

蒲帅 ;

杨翠翠 .

中国专利 :CN119286527A ,2025-01-10

[4]

一种高选择性的蚀刻液 [P].

张庭 ;

贺兆波 ;

李鑫 ;

李金航 ;

尹印 ;

万杨阳 ;

王书萍 ;

倪高国 .

中国专利 :CN112608754B ,2021-04-06

[5]

铜选择性蚀刻液和钛选择性蚀刻液 [P].

江月华 .

中国专利 :CN105603425A ,2016-05-25

[6]

一种选择性蚀刻液 [P].

叶瑞 ;

贺兆波 ;

冯凯 ;

崔会东 ;

王书萍 ;

班昌胜 ;

张庭 ;

严凡 ;

樊澌 .

中国专利 :CN117384642A ,2024-01-12

[7]

钯选择性蚀刻液以及控制蚀刻的选择性的方法 [P].

高桥秀树 .

中国专利 :CN100595894C ,2008-10-29

[8]

金属选择性蚀刻液 [P].

高桥秀树 ;

黑岩健次 ;

加藤胜 .

中国专利 :CN1847457B ,2006-10-18

[9]

选择性锡蚀刻液 [P].

陈修宁 ;

王淑萍 ;

李建 ;

黄志齐 ;

黄京华 .

中国专利 :CN103866324B ,2014-06-18

[10]

一种镍的选择性蚀刻液 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN109112544A ,2019-01-01

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