一种BOE蚀刻液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211398200.8

申请日：

2022-11-09

公开(公告)号：

CN118048156A

公开(公告)日：

2024-05-17

发明(设计)人：

鄢艳华夏明鹏姜希松周达文

申请人：

深圳新宙邦科技股份有限公司

申请人地址：

518000 广东省深圳市坪山新区沙坣同富裕工业区

IPC主分类号：

C09K13/06

IPC分类号：

C09K13/08

代理机构：

深圳众鼎专利商标代理事务所(普通合伙) 44325

代理人：

张美君

法律状态：

公开

国省代码：

广东省深圳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-17	公开	公开
2024-06-04	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C09K 13/06申请日:20221109

共 50 条

[1]

一种BOE蚀刻液 [P].

夏明鹏 ;

鄢艳华 ;

姜希松 .

中国专利 :CN119614202A ,2025-03-14

[2]

一种BOE蚀刻液 [P].

董俊卿 ;

徐倩 ;

卢景煜 .

中国专利 :CN111892931A ,2020-11-06

[3]

一种BOE蚀刻液及其应用 [P].

鄢艳华 ;

庾明茂 ;

夏明鹏 ;

姜希松 ;

周达文 .

中国专利 :CN118165733A ,2024-06-11

[4]

一种用于氧化硅层的BOE蚀刻液 [P].

庾明茂 ;

鄢艳华 ;

周达文 ;

姜希松 ;

夏明鹏 .

中国专利 :CN117660012A ,2024-03-08

[5]

一种选择性BOE蚀刻液 [P].

杨华春 ;

栗广奉 ;

闫春生 ;

杨水艳 ;

韩广欣 ;

王泽国 ;

尚钟声 ;

叶文豪 ;

吴海峰 ;

李霞 .

中国专利 :CN117511549A ,2024-02-06

[6]

一种BOE蚀刻液组合物 [P].

王海 ;

田志扬 ;

潘绍忠 ;

张晓东 ;

张学良 ;

傅明星 ;

王瑞 .

中国专利 :CN103756681A ,2014-04-30

[7]

一种复合膜层用BOE蚀刻液 [P].

戈烨铭 ;

何珂 ;

汤晓春 .

中国专利 :CN113429974A ,2021-09-24

[8]

一种BOE蚀刻液的制备方法 [P].

王海 ;

田志扬 ;

张晓东 ;

潘绍忠 ;

张学良 ;

韩虹羽 ;

魏俊明 .

中国专利 :CN103756680A ,2014-04-30

[9]

一种用于集成电路制程中氧化硅减薄或去除的BOE蚀刻液 [P].

鄢艳华 ;

夏明鹏 ;

姜希松 ;

周达文 .

中国专利 :CN119193162A ,2024-12-27

[10]

一种半导体BOE蚀刻液、其制备方法及用途 [P].

侯军 ;

武文东 ;

赵晓莹 ;

杨茂森 ;

任洁 .

中国专利 :CN117821069A ,2024-04-05

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