一种BOE蚀刻液的制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201310754779.1
申请日
2013-12-31
公开(公告)号
CN103756680A
公开(公告)日
2014-04-30
发明(设计)人
王海 田志扬 张晓东 潘绍忠 张学良 韩虹羽 魏俊明
申请人
申请人地址
324004 浙江省衢州市柯城区念化路8号2幢201室
IPC主分类号
C09K1308
IPC分类号
代理机构
杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 33217
代理人
施少锋
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种BOE蚀刻液组合物 [P]. 
王海 ;
田志扬 ;
潘绍忠 ;
张晓东 ;
张学良 ;
傅明星 ;
王瑞 .
中国专利 :CN103756681A ,2014-04-30
[2]
一种BOE蚀刻液 [P]. 
董俊卿 ;
徐倩 ;
卢景煜 .
中国专利 :CN111892931A ,2020-11-06
[3]
一种BOE蚀刻液 [P]. 
夏明鹏 ;
鄢艳华 ;
姜希松 .
中国专利 :CN119614202A ,2025-03-14
[4]
一种半导体BOE蚀刻液、其制备方法和应用 [P]. 
侯军 ;
武文东 ;
赵晓莹 ;
杨茂森 ;
任洁 ;
田继升 ;
罗鹏旭 .
中国专利 :CN119432384A ,2025-02-14
[5]
一种半导体BOE蚀刻液、其制备方法及用途 [P]. 
侯军 ;
武文东 ;
赵晓莹 ;
杨茂森 ;
任洁 .
中国专利 :CN117821069A ,2024-04-05
[6]
一种BOE蚀刻液 [P]. 
鄢艳华 ;
夏明鹏 ;
姜希松 ;
周达文 .
中国专利 :CN118048156A ,2024-05-17
[7]
一种低泡且蚀刻均匀的蚀刻液 [P]. 
张庭 ;
李金航 ;
贺兆波 ;
武昊冉 ;
李鑫 ;
欧阳克银 ;
蒋瑜瑜 .
中国专利 :CN114350367A ,2022-04-15
[8]
一种半导体用BOE蚀刻液及其制备方法 [P]. 
童晨 ;
吴海燕 ;
陈桂红 ;
孙元 ;
韩成强 .
中国专利 :CN115368900A ,2022-11-22
[9]
一种蚀刻液的配方及其应用 [P]. 
唐浩东 ;
王志阳 ;
尚宇飞 .
中国专利 :CN117757477A ,2024-03-26
[10]
一种复合膜层用BOE蚀刻液 [P]. 
戈烨铭 ;
何珂 ;
汤晓春 .
中国专利 :CN113429974A ,2021-09-24