大口径光学元件二次曝光相位测量装置及测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510054241.9

申请日：

2015-02-03

公开(公告)号：

CN104634542B

公开(公告)日：

2015-05-20

发明(设计)人：

陶华潘兴臣王海燕刘诚朱健强

申请人：

申请人地址：

201800 上海市嘉定区上海市800－211邮政信箱

IPC主分类号：

G01M1102

IPC分类号：

代理机构：

上海新天专利代理有限公司 31213

代理人：

张泽纯;张宁展

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-06-17	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101613565827 IPC(主分类):G01M 11/02 专利申请号:2015100542419 申请日:20150203
2017-06-13	授权	授权
2015-05-20	公开	公开

共 50 条

[1]

透射型大口径元件相位测量装置和测量方法 [P].

王海燕 ;

刘诚 ;

潘兴臣 ;

程君 ;

孙美智 ;

朱健强 .

中国专利 :CN103499429A ,2014-01-08

[2]

大口径光学元件动态干涉拼接测量装置及测量方法 [P].

武欣 ;

于瀛洁 ;

王伟荣 ;

张小强 ;

许海峰 ;

王驰 .

中国专利 :CN104330050B ,2015-02-04

[3]

大口径光学元件透射率和反射率的测量装置和测量方法 [P].

张春香 ;

朱宝强 ;

唐顺兴 ;

缪洁 ;

高妍琦 ;

惠宏超 ;

郭亚晶 .

中国专利 :CN102062678A ,2011-05-18

[4]

基于共聚焦显微原理的大口径光学元件母线轮廓测量方法 [P].

刘俭 ;

王宇航 ;

牛斌 ;

谷康 ;

谭久彬 .

中国专利 :CN106705881A ,2017-05-24

[5]

大口径光学元件清洗装置及大口径光学元件的清洗方法 [P].

王震 ;

许乔 ;

卫耀伟 ;

王健 ;

李树刚 ;

刘民才 ;

张飞 ;

唐明 ;

吴倩 ;

罗晋 ;

罗振飞 ;

周永勤 ;

程建国 ;

白友民 .

中国专利 :CN111330877A ,2020-06-26

[6]

大口径光学元件轮廓的一次拼接测量装置 [P].

郭隐彪 ;

李欣 ;

杨旭 ;

张艳婷 ;

王振忠 .

中国专利 :CN103822605A ,2014-05-28

[7]

光束相位在线测量装置和测量方法 [P].

潘兴臣 ;

王海燕 ;

程君 ;

刘诚 ;

朱健强 .

中国专利 :CN103884436B ,2014-06-25

[8]

大口径光学元件反射率测量系统 [P].

高磊 ;

龙宇 ;

彭琛 ;

朱涛 .

中国专利 :CN114486201A ,2022-05-13

[9]

大口径光学成像系统成像质量测量装置及测量方法 [P].

王彦 ;

陈金宝 ;

刘文广 ;

周琼 ;

张汉伟 ;

刘鹏飞 ;

张丹 .

中国专利 :CN118670691A ,2024-09-20

[10]

大口径光学成像系统成像质量测量装置及测量方法 [P].

王彦 ;

陈金宝 ;

刘文广 ;

周琼 ;

张汉伟 ;

刘鹏飞 ;

张丹 .

中国专利 :CN118670691B ,2024-11-05

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