研磨轮的研磨液供给结构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520820851.0

申请日：

2015-10-22

公开(公告)号：

CN205148079U

公开(公告)日：

2016-04-13

发明(设计)人：

廖碧湖

申请人：

申请人地址：

中国台湾台中市

IPC主分类号：

B24B5702

IPC分类号：

代理机构：

北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100

代理人：

郭佩兰

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-10-18	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B24B 57/02 申请日:20151022 授权公告日:20160413 终止日期:20181022
2016-04-13	授权	授权

共 50 条

[1]

研磨轮结构 [P].

李旺生 .

中国专利 :CN201082520Y ,2008-07-09

[2]

研磨液供给系统 [P].

袁友纪 ;

田野 .

中国专利 :CN217371959U ,2022-09-06

[3]

研磨液配比机台以及研磨液供给系统 [P].

宋林飞 ;

朱海青 .

中国专利 :CN201856169U ,2011-06-08

[4]

杨留奎 .

中国专利 :CN203330895U ,2013-12-11

[5]

王延年 ;

郭继彬 ;

王志力 ;

王刚 .

中国专利 :CN2281868Y ,1998-05-20

[6]

林明亮 .

中国专利 :CN203357227U ,2013-12-25

[7]

陈杰 .

中国专利 :CN214162597U ,2021-09-10

[8]

研磨轮及研磨装置 [P].

谭志勇 .

中国专利 :CN209076855U ,2019-07-09

[9]

研磨液供给装置及化学机械研磨系统 [P].

郭松辉 ;

陆从喜 ;

沈新林 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208801223U ,2019-04-30

[10]

研磨液供给手臂及化学机械研磨装置 [P].

田得暄 ;

辛君 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN209125576U ,2019-07-19

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