研磨液配比机台以及研磨液供给系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201020565137.9

申请日：

2010-10-16

公开(公告)号：

CN201856169U

公开(公告)日：

2011-06-08

发明(设计)人：

宋林飞朱海青

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区上海市张江路18号

IPC主分类号：

B24B5700

IPC分类号：

B24B5702

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-04-03	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101558397856 IPC(主分类):B24B 57/00 专利号:ZL2010205651379 变更事项:专利权人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更后权利人:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道18号登记生效日:20130311
2011-06-08	授权	授权
2019-10-08	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B24B 57/00 申请日:20101016 授权公告日:20110608 终止日期:20181016

共 50 条

[1]

化学机械研磨机台及其研磨液供给手臂 [P].

周维娜 ;

刘庚申 .

中国专利 :CN203636589U ,2014-06-11

[2]

研磨液手臂以及化学机械研磨机台 [P].

岳志刚 ;

辛君 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN210650151U ,2020-06-02

[3]

研磨液供给系统 [P].

袁友纪 ;

田野 .

中国专利 :CN217371959U ,2022-09-06

[4]

研磨液供给装置及化学机械研磨系统 [P].

郭松辉 ;

陆从喜 ;

沈新林 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208801223U ,2019-04-30

[5]

研磨液供给管路以及化学机械研磨装置 [P].

闫大鹏 .

中国专利 :CN101456162B ,2009-06-17

[6]

研磨液供给系统及化学机械研磨站的研磨液混合物供给法 [P].

曾志江 ;

陈勇龙 ;

黄亮洁 ;

黄怡文 .

中国专利 :CN101823234B ,2010-09-08

[7]

研磨液供给手臂及化学机械研磨装置 [P].

田得暄 ;

辛君 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN209125576U ,2019-07-19

[8]

一种研磨液供给系统及化学机械研磨液的供给方法 [P].

杨钰 ;

李虎 .

中国专利 :CN109352531A ,2019-02-19

[9]

研磨液过滤系统、研磨液供应系统及化学机械研磨设备 [P].

田得暄 ;

辛君 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208913880U ,2019-05-31

[10]

化学机械研磨之研磨液供给装置 [P].

丁弋 ;

朱也方 .

中国专利 :CN104308744A ,2015-01-28

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