研磨液供给管路以及化学机械研磨装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710094564.6

申请日：

2007-12-13

公开(公告)号：

CN101456162B

公开(公告)日：

2009-06-17

发明(设计)人：

闫大鹏

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

B24B5702

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

李丽

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-08-11	授权	授权
2019-12-06	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B24B 57/02 申请日:20071213 授权公告日:20100811 终止日期:20181213
2009-06-17	公开	公开
2009-08-12	实质审查的生效	实质审查的生效
2012-01-04	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101256914409 IPC(主分类):B24B 57/02 专利号:ZL2007100945646 变更事项:专利权人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更后权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更事项:共同专利权人变更前权利人:无变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司登记生效日:20111123

共 50 条

[1]

化学机械研磨之研磨液供给装置 [P].

丁弋 ;

朱也方 .

中国专利 :CN104308744A ,2015-01-28

[2]

研磨液供给装置及化学机械研磨系统 [P].

郭松辉 ;

陆从喜 ;

沈新林 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208801223U ,2019-04-30

[3]

研磨液供给手臂及化学机械研磨装置 [P].

田得暄 ;

辛君 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN209125576U ,2019-07-19

[4]

研磨液手臂以及化学机械研磨设备 [P].

高思玮 .

中国专利 :CN201841472U ,2011-05-25

[5]

化学机械研磨方法以及化学机械研磨装置 [P].

唐强 ;

魏红建 ;

肖德元 .

中国专利 :CN105437054B ,2016-03-30

[6]

化学机械研磨装置以及化学机械研磨方法 [P].

唐强 .

中国专利 :CN102335868A ,2012-02-01

[7]

化学机械研磨机台及其研磨液供给手臂 [P].

周维娜 ;

刘庚申 .

中国专利 :CN203636589U ,2014-06-11

[8]

化学机械研磨装置以及研磨方法 [P].

陈承先 ;

黄雅仪 ;

高铭祥 ;

林义雄 ;

郭祖宽 .

中国专利 :CN1661780A ,2005-08-31

[9]

研磨液供给系统及化学机械研磨站的研磨液混合物供给法 [P].

曾志江 ;

陈勇龙 ;

黄亮洁 ;

黄怡文 .

中国专利 :CN101823234B ,2010-09-08

[10]

研磨液手臂以及化学机械研磨机台 [P].

岳志刚 ;

辛君 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN210650151U ,2020-06-02

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