研磨液手臂以及化学机械研磨机台

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920954848.6

申请日：

2019-06-24

公开(公告)号：

CN210650151U

公开(公告)日：

2020-06-02

发明(设计)人：

岳志刚辛君林宗贤

申请人：

申请人地址：

223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

B24B3734

IPC分类号：

B24B53017 B24B5702

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

王宏婧

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-06-02	授权	授权

共 50 条

[1]

化学机械研磨机台及其研磨液供给手臂 [P].

周维娜 ;

刘庚申 .

中国专利 :CN203636589U ,2014-06-11

[2]

化学机械研磨机台 [P].

宋恺 ;

张弢 ;

蒋德念 .

中国专利 :CN204504984U ,2015-07-29

[3]

研磨垫及化学机械研磨机台 [P].

田国军 ;

赵雪峰 .

中国专利 :CN202825512U ,2013-03-27

[4]

化学机械研磨机台 [P].

陈洪雷 ;

顾军 ;

刘波 .

中国专利 :CN102658519B ,2012-09-12

[5]

化学机械研磨机台 [P].

牛保刚 ;

黄文忠 ;

林必窕 ;

洪连嵘 ;

李森楠 .

中国专利 :CN1241469A ,2000-01-19

[6]

化学机械研磨机台 [P].

刘尹智 ;

李森楠 .

中国专利 :CN1247118A ,2000-03-15

[7]

化学机械研磨机台 [P].

宋恺 ;

张弢 ;

蒋德念 .

中国专利 :CN204075983U ,2015-01-07

[8]

化学机械研磨机台 [P].

林必窕 ;

牛保刚 ;

黄文忠 ;

李森楠 .

中国专利 :CN1240695A ,2000-01-12

[9]

化学机械研磨机台 [P].

刘尹智 .

中国专利 :CN1080619C ,2000-03-08

[10]

研磨液手臂以及化学机械研磨设备 [P].

高思玮 .

中国专利 :CN201841472U ,2011-05-25

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