化学机械研磨机台

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN98118900.8

申请日：

1998-09-08

公开(公告)号：

CN1247118A

公开(公告)日：

2000-03-15

发明(设计)人：

刘尹智李森楠

申请人：

申请人地址：

台湾省新竹科学工业园区

IPC主分类号：

B24B3704

IPC分类号：

代理机构：

柳沈知识产权律师事务所

代理人：

杨梧

法律状态：

实质审查请求的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2000-10-11	实质审查请求的生效	实质审查请求的生效
2000-03-15	公开	公开
2018-10-09	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):B24B 37/04 申请日:19980908 授权公告日:20020313
2000-09-27	著录项目变更	著录项目变更变更事项:申请人变更前:世大积体电路股份有限公司变更后:台湾积体电路制造股份有限公司
2002-03-13	授权	授权

共 50 条

[1]

化学机械研磨机台 [P].

陈洪雷 ;

顾军 ;

刘波 .

中国专利 :CN102658519B ,2012-09-12

[2]

化学机械研磨机台 [P].

牛保刚 ;

黄文忠 ;

林必窕 ;

洪连嵘 ;

李森楠 .

中国专利 :CN1241469A ,2000-01-19

[3]

化学机械研磨机台 [P].

宋恺 ;

张弢 ;

蒋德念 .

中国专利 :CN204504984U ,2015-07-29

[4]

化学机械研磨机台 [P].

宋恺 ;

张弢 ;

蒋德念 .

中国专利 :CN204075983U ,2015-01-07

[5]

化学机械研磨机台 [P].

林必窕 ;

牛保刚 ;

黄文忠 ;

李森楠 .

中国专利 :CN1240695A ,2000-01-12

[6]

化学机械研磨机台 [P].

刘尹智 .

中国专利 :CN1080619C ,2000-03-08

[7]

研磨垫及化学机械研磨机台 [P].

田国军 ;

赵雪峰 .

中国专利 :CN202825512U ,2013-03-27

[8]

化学机械研磨机台及化学机械研磨制程 [P].

叶书佑 ;

陈建置 ;

黄俊凱 ;

郑穆韩 ;

陈慈信 .

中国专利 :CN108621023A ,2018-10-09

[9]

研磨液手臂以及化学机械研磨机台 [P].

岳志刚 ;

辛君 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN210650151U ,2020-06-02

[10]

化学机械研磨机台的维护方法 [P].

陈肖科 ;

张溢钢 .

中国专利 :CN101347920A ,2009-01-21

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