化学机械研磨机台

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210142943.9

申请日：

2012-05-09

公开(公告)号：

CN102658519B

公开(公告)日：

2012-09-12

发明(设计)人：

陈洪雷顾军刘波

申请人：

申请人地址：

201203 上海市张江高科技园区祖冲之路1399号

IPC主分类号：

B24B3704

IPC分类号：

B24B3734

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

郑玮

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-09-10	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101586816063 IPC(主分类):B24B 37/04 专利申请号:2012101429439 申请日:20120509
2012-09-12	公开	公开
2016-08-31	授权	授权
2014-05-28	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101701237107 IPC(主分类):B24B 37/04 专利申请号:2012101429439 变更事项:申请人变更前权利人:上海宏力半导体制造有限公司变更后权利人:上海华虹宏力半导体制造有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市闵行区张江高科技园区郭守敬路818号变更后权利人:201203 上海市张江高科技园区祖冲之路1399号登记生效日:20140504

共 50 条

[1]

化学机械研磨机台 [P].

宋恺 ;

张弢 ;

蒋德念 .

中国专利 :CN204504984U ,2015-07-29

[2]

化学机械研磨机台 [P].

宋恺 ;

张弢 ;

蒋德念 .

中国专利 :CN204075983U ,2015-01-07

[3]

化学机械研磨机台 [P].

牛保刚 ;

黄文忠 ;

林必窕 ;

洪连嵘 ;

李森楠 .

中国专利 :CN1241469A ,2000-01-19

[4]

化学机械研磨机台 [P].

刘尹智 ;

李森楠 .

中国专利 :CN1247118A ,2000-03-15

[5]

化学机械研磨机台 [P].

林必窕 ;

牛保刚 ;

黄文忠 ;

李森楠 .

中国专利 :CN1240695A ,2000-01-12

[6]

化学机械研磨机台 [P].

刘尹智 .

中国专利 :CN1080619C ,2000-03-08

[7]

化学机械研磨机台及化学机械研磨制程 [P].

叶书佑 ;

陈建置 ;

黄俊凱 ;

郑穆韩 ;

陈慈信 .

中国专利 :CN108621023A ,2018-10-09

[8]

研磨垫及化学机械研磨机台 [P].

田国军 ;

赵雪峰 .

中国专利 :CN202825512U ,2013-03-27

[9]

研磨头及化学机械研磨机台 [P].

邓武锋 .

中国专利 :CN102294646A ,2011-12-28

[10]

研磨液手臂以及化学机械研磨机台 [P].

岳志刚 ;

辛君 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN210650151U ,2020-06-02

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