一种研磨液供给系统及化学机械研磨液的供给方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811245993.3

申请日：

2018-10-24

公开(公告)号：

CN109352531A

公开(公告)日：

2019-02-19

发明(设计)人：

杨钰李虎

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号

IPC主分类号：

B24B5702

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

智云

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-29	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B24B 57/02 申请公布日:20190219
2019-02-19	公开	公开
2019-03-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 57/02 申请日:20181024

共 50 条

[1]

研磨液供给装置及化学机械研磨系统 [P].

郭松辉 ;

陆从喜 ;

沈新林 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208801223U ,2019-04-30

[2]

研磨液供给系统及化学机械研磨站的研磨液混合物供给法 [P].

曾志江 ;

陈勇龙 ;

黄亮洁 ;

黄怡文 .

中国专利 :CN101823234B ,2010-09-08

[3]

研磨液供给手臂及化学机械研磨装置 [P].

田得暄 ;

辛君 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN209125576U ,2019-07-19

[4]

化学机械研磨之研磨液供给装置 [P].

丁弋 ;

朱也方 .

中国专利 :CN104308744A ,2015-01-28

[5]

研磨液供给管路以及化学机械研磨装置 [P].

闫大鹏 .

中国专利 :CN101456162B ,2009-06-17

[6]

化学机械研磨机台及其研磨液供给手臂 [P].

周维娜 ;

刘庚申 .

中国专利 :CN203636589U ,2014-06-11

[7]

研磨液配比机台以及研磨液供给系统 [P].

宋林飞 ;

朱海青 .

中国专利 :CN201856169U ,2011-06-08

[8]

一种化学机械研磨机台化学液供给装置 [P].

王海军 ;

王贝易 ;

方精训 ;

程晓华 ;

刘艳平 .

中国专利 :CN101121239A ,2008-02-13

[9]

化学机械研磨系统及研磨液 [P].

杨春晓 ;

俞昌 .

中国专利 :CN101103444A ,2008-01-09

[10]

研磨液及化学机械研磨方法 [P].

李健 ;

刘俊良 .

中国专利 :CN101457136A ,2009-06-17

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