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晶圆载片盘的固定装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201620245154.1
申请日：
2016-03-28
公开(公告)号：
CN205564728U
公开(公告)日：
2016-09-07
发明(设计)人：
余庄凤娇
申请人：
申请人地址：
中国台湾桃园市芦竹区新兴村中兴路97号2楼
IPC主分类号：
H01L21687
IPC分类号：
代理机构：
上海智信专利代理有限公司 31002
代理人：
王洁
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2016-09-07 | 授权 | 授权 |
| 2022-03-11 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/687 申请日:20160328 授权公告日:20160907 终止日期:20210328 |