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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2012-10-03 | 授权 | 授权 |
| 2011-11-09 | 公开 | 公开 |
| 2011-12-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101158510541 IPC(主分类):C23C 28/00 专利申请号:2010101653238 申请日:20100507 |
| 2014-07-02 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101583271083 IPC(主分类):C23C 28/00 专利号:ZL2010101653238 申请日:20100507 授权公告日:20121003 终止日期:20130507 |