基板液体处理装置和基板液体处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510048353.3

申请日：

2015-01-30

公开(公告)号：

CN104821285B

公开(公告)日：

2015-08-05

发明(设计)人：

原大海佐藤秀明河津贵裕永井高志

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21306

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-07	授权	授权
2015-08-05	公开	公开
2016-08-31	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101676753479 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2015100483533 申请日:20150130

共 50 条

[1]

基板液体处理装置和基板液体处理方法 [P].

原大海 ;

佐藤秀明 ;

河津贵裕 ;

永井高志 .

中国专利 :CN110010528A ,2019-07-12

[2]

基板液体处理装置和基板液体处理方法 [P].

佐藤秀明 ;

原大海 ;

金振铉 .

中国专利 :CN105374712B ,2016-03-02

[3]

基板液体处理装置和基板液体处理方法 [P].

佐藤秀明 ;

永井高志 ;

原大海 .

中国专利 :CN106024615A ,2016-10-12

[4]

基板液体处理装置和基板液体处理方法 [P].

佐藤秀明 ;

佐藤尊三 .

中国专利 :CN105845602A ,2016-08-10

[5]

基板液体处理装置和基板液体处理方法 [P].

福田昌弘 ;

久保明广 ;

山本太郎 ;

矢田健二 ;

大河内厚 .

中国专利 :CN104854681B ,2015-08-19

[6]

基板液体处理装置以及基板液体处理方法 [P].

田中裕司 ;

南辉臣 ;

川渕洋介 ;

伊藤规宏 ;

上村史洋 ;

薮田贵士 ;

小佐井一树 ;

乌野崇 ;

关口贤治 ;

藤井康 .

中国专利 :CN102044412A ,2011-05-04

[7]

基板的液体处理装置和液体处理方法 [P].

天野嘉文 ;

水野刚资 .

中国专利 :CN101996914B ,2011-03-30

[8]

液体供应单元、基板处理装置以及基板处理方法 [P].

李承汉 .

中国专利 :CN108803257B ,2018-11-13

[9]

液体分配喷嘴和基板处理装置 [P].

崔炳斗 ;

柳杨烈 ;

吴东燮 ;

白惠斌 .

中国专利 :CN111077742A ,2020-04-28

[10]

基板处理装置和基板处理方法 [P].

杉冈真治 .

中国专利 :CN107871690A ,2018-04-03

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