基板液体处理装置和基板液体处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201380065321.3

申请日：

2013-12-12

公开(公告)号：

CN104854681B

公开(公告)日：

2015-08-19

发明(设计)人：

福田昌弘久保明广山本太郎矢田健二大河内厚

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21304

IPC分类号：

H01L21027

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-09-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101625687214 IPC(主分类):H01L 21/304 专利申请号:2013800653213 申请日:20131212
2015-08-19	公开	公开
2017-04-19	授权	授权

共 50 条

[1]

基板液体处理装置和基板液体处理方法 [P].

原大海 ;

佐藤秀明 ;

河津贵裕 ;

永井高志 .

中国专利 :CN104821285B ,2015-08-05

[2]

基板液体处理装置和基板液体处理方法 [P].

原大海 ;

佐藤秀明 ;

河津贵裕 ;

永井高志 .

中国专利 :CN110010528A ,2019-07-12

[3]

基板液体处理装置和基板液体处理方法 [P].

佐藤秀明 ;

原大海 ;

金振铉 .

中国专利 :CN105374712B ,2016-03-02

[4]

基板液体处理装置和基板液体处理方法 [P].

佐藤秀明 ;

永井高志 ;

原大海 .

中国专利 :CN106024615A ,2016-10-12

[5]

基板液体处理装置和基板液体处理方法 [P].

佐藤秀明 ;

佐藤尊三 .

中国专利 :CN105845602A ,2016-08-10

[6]

基板液体处理装置以及基板液体处理方法 [P].

田中裕司 ;

南辉臣 ;

川渕洋介 ;

伊藤规宏 ;

上村史洋 ;

薮田贵士 ;

小佐井一树 ;

乌野崇 ;

关口贤治 ;

藤井康 .

中国专利 :CN102044412A ,2011-05-04

[7]

基板的液体处理装置和液体处理方法 [P].

天野嘉文 ;

水野刚资 .

中国专利 :CN101996914B ,2011-03-30

[8]

液体供应单元、基板处理装置以及基板处理方法 [P].

李承汉 .

中国专利 :CN108803257B ,2018-11-13

[9]

基板处理装置和液体供应方法 [P].

洪榕焄 ;

李瑟 ;

田明娥 ;

崔文植 ;

金荣洙 .

中国专利 :CN113555299A ,2021-10-26

[10]

基板处理装置和液体供应方法 [P].

洪榕焄 ;

李瑟 ;

田明娥 ;

崔文植 ;

金荣洙 .

韩国专利 :CN113555299B ,2024-06-25

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