一种聚合咪唑啉缓蚀剂及其制备方法

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专利类型
发明
申请号
CN201510961991.4
申请日
2015-12-20
公开(公告)号
CN105506643A
公开(公告)日
2016-04-20
发明(设计)人
王木立 徐慧 狄志刚 尚跃再 赵起锋 陶骞
申请人
申请人地址
100010 北京市东城区朝阳门北大街25号中国海油大厦1414室
IPC主分类号
C23F11173
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
公开
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共 50 条
[1]
一种聚合型咪唑啉缓蚀剂及其制备方法 [P]. 
唐能攀 ;
汪俊 ;
姚兵 ;
操卫平 ;
黄可明 .
中国专利 :CN103469211A ,2013-12-25
[2]
一种咪唑啉缓蚀剂及其制备方法 [P]. 
李双奇 ;
贺凤伟 ;
孙浩妍 .
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[3]
一种嘧啶咪唑啉缓蚀剂及其制备方法 [P]. 
李艳艳 .
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[4]
一种复合咪唑啉缓蚀剂及其制备方法 [P]. 
李家俊 ;
刘玉民 ;
吴涛 ;
曹阳 ;
刘学敏 ;
仇进城 .
中国专利 :CN107190265A ,2017-09-22
[5]
一类聚合型咪唑啉缓蚀剂及其制备方法 [P]. 
林富荣 ;
崔存凤 ;
孔泳 .
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[6]
一种咪唑啉缓蚀剂的制备方法 [P]. 
连贵宾 ;
赵波 ;
孙新春 ;
何志刚 ;
吴君 ;
卜魁勇 ;
张文辉 ;
刘冬梅 ;
程春雷 .
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[7]
一种聚醚改性咪唑啉缓蚀剂及其制备方法 [P]. 
段向锋 ;
郭琦 ;
袁浩 ;
张光华 ;
张万斌 .
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[8]
一种咪唑啉季铵盐缓蚀剂及其制备方法 [P]. 
高晓明 ;
刘利波 ;
聂卫 ;
付峰 ;
高楼军 .
中国专利 :CN109053579A ,2018-12-21
[9]
一种咪唑啉缓蚀剂的制备方法 [P]. 
郑性能 ;
张建妮 .
中国专利 :CN106884171A ,2017-06-23
[10]
一种咪唑啉缓蚀剂及其制备方法及应用 [P]. 
陈力群 ;
肖勇 ;
韩跃旺 .
中国专利 :CN113480987A ,2021-10-08